成都海光微电子技术有限公司张琪麟获国家专利权
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龙图腾网获悉成都海光微电子技术有限公司申请的专利一种晶圆检测方法、装置及电子设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118136536B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-22发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410266194.3，技术领域涉及：H01L21/66；该发明授权一种晶圆检测方法、装置及电子设备是由张琪麟;王伟设计研发完成，并于2024-03-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆检测方法、装置及电子设备在说明书摘要公布了：本发明实施方式公开一种晶圆检测方法、装置及电子设备，涉及芯片测试技术领域，为便于及时确定出风险晶圆而发明。所述晶圆检测方法，包括：基于待检测晶圆的接受测试的测试参数，生成所述待检测晶圆的测试参数特征图；确定所述待检测晶圆的测试参数特征图与参照晶圆的测试参数特征图的相似度；若所述待检测晶圆的测试参数特征图与参照晶圆的测试参数特征图的相似度低于预设相似度阈值，则确定所述待检测晶圆片内均一性异常。本发明实施方式适用于晶圆片内均一性检测。
本发明授权一种晶圆检测方法、装置及电子设备在权利要求书中公布了：1.一种晶圆检测方法，其特征在于，包括： 基于待检测晶圆的接受测试的测试参数，生成所述待检测晶圆的测试参数特征图； 确定所述待检测晶圆的测试参数特征图与参照晶圆的测试参数特征图的相似度； 若所述待检测晶圆的测试参数特征图与参照晶圆的测试参数特征图的相似度低于预设相似度阈值，则确定所述待检测晶圆片内均一性异常; 其中，所述确定所述待检测晶圆的测试参数特征图与参照晶圆的测试参数特征图的相似度，包括： 计算所述待检测晶圆的测试参数特征图的哈希值； 将所述待检测晶圆的测试参数特征图的哈希值，与参照晶圆的测试参数特征图的哈希值进行比较，确定所述待检测晶圆的测试参数特征图与参照晶圆的测试参数特征图的相似度。
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