苏州奥克思光电科技有限公司王波获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州奥克思光电科技有限公司申请的专利一种基于X光的晶圆检测设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223139450U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-22发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421278334.0，技术领域涉及：G01N23/02；该实用新型一种基于X光的晶圆检测设备是由王波;张振伟设计研发完成，并于2024-06-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种基于X光的晶圆检测设备在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种基于X光的晶圆检测设备，包括固定框架和固定安装在所述固定框架上端的X光灯头，在使用该装置对晶圆进行检测的时候，把伸缩板打开，将晶圆片放入到连接管内，向下拉动连接管，连接管带动伸缩管拉伸，连接杆移动至插入到检测平台内，活动块被检测平台的侧壁挤压至滑动进入到滑槽一内，活动块被弹簧一向外推出卡在卡块内，自动完成对连接管的固定，开启X光灯头对晶圆片进行检测，该基于X光的晶圆检测设备装置将晶圆片放置到连接管内之后可将连接管向下拉动至将检测平台包住，自动完成对连接管的固定，在对晶圆片照射X光的时候可直接将X光导入到晶圆片，避免其检测的时候X光外泄影响检测人员的身体健康。
本实用新型一种基于X光的晶圆检测设备在权利要求书中公布了：1.一种基于X光的晶圆检测设备，包括固定框架（1）和固定安装在所述固定框架（1）上端的X光灯头（2），所述固定框架（1）的下端固定安装有检测平台（3），其特征在于：所述X光灯头（2）的下端安装有活动组件（4），所述活动组件（4）包括固定安装在所述X光灯头（2）下端的固定管（41），所述固定管（41）的下端固定安装有伸缩管（42），所述伸缩管（42）的下端固定安装有连接管（47），所述连接管（47）的侧壁开设有U型槽（44），所述U型槽（44）内滑动连接有伸缩板（45），所述连接管（47）的内部四周侧壁均开设有滑槽一（471），所述滑槽一（471）内均滑动连接有活动块（472），所述活动块（472）与所述滑槽一（471）的侧壁之间共同固定安装有弹簧一（473），所述检测平台（3）的四边侧壁均固定安装有卡块（31）。
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