北京燕东微电子科技有限公司朱大正获国家专利权
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龙图腾网获悉北京燕东微电子科技有限公司申请的专利探针台以及用于半导体的测试系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223139628U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-22发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421522753.4，技术领域涉及：G01R1/04；该实用新型探针台以及用于半导体的测试系统是由朱大正;靳莹;宋健伟;任超楠;柳绪春设计研发完成，并于2024-06-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本探针台以及用于半导体的测试系统在说明书摘要公布了：本申请提供一种探针台以及用于半导体的测试系统；探针台包括探针卡以及载片盘，探针卡包括探针，载片盘用于承载待测半导体，探针卡能够对待测半导体进行电性测试。探针台还包括支撑组件以及温度调节组件；温度调节组件具有顺次连通的进气部、换热部以及冷出气部；进气部用于通入外界气体，换热部用于对通过进气部通入的外界气体进行热交换，获得冷气流，冷出气部用于排出冷气流，且冷出气部对准探针的针尖，使探针的针尖达到待测半导体的电性测试温度。本申请提供的探针台，利用温度调节组件，使得在利用探针卡对待测半导体进行测试时通过向探针的针尖处提供具有预设温度的冷却气体，能够达到电性测试温度，满足FRD等半导体产品的测试要求。
本实用新型探针台以及用于半导体的测试系统在权利要求书中公布了：1.一种探针台，包括探针卡以及载片盘，所述探针卡包括探针，所述载片盘用于承载待测半导体；其特征在于，所述探针台还包括支撑组件以及温度调节组件； 所述支撑组件包括基座，所述基座具有安装槽，所述探针卡安装在基座上，所述载片盘可移动地设置于所述安装槽内，以使所述探针卡能够对所述待测半导体进行电性测试； 所述温度调节组件具有顺次连通的进气部、换热部以及冷出气部；所述进气部用于通入外界气体，所述换热部用于对通过所述进气部通入的外界气体进行热交换，获得冷气流，所述冷出气部用于排出所述冷气流，且所述冷出气部对准所述探针的针尖，使所述探针的针尖处达到所述待测半导体的电性测试温度。
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