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龙图腾网获悉昆山辉业达机电科技有限公司申请的专利一种自动化半导体制造设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223128785U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-22发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421535889.9，技术领域涉及：B08B3/12；该实用新型一种自动化半导体制造设备是由林志;周雄设计研发完成，并于2024-07-02向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种自动化半导体制造设备在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种自动化半导体制造设备，包括半导体超声波清洗机和开设在半导体超声波清洗机内部的清洗槽，清洗槽的内部等距固定连接有滑动棒，属于半导体制造技术领域。本实用新型通过在清洗槽的内部设置可上下滑动的滑动框，当清洗槽内部半导体件清洗完成后，通过启动内转子电机，可以带动滚轮转动，使滑动框带动金属滤网往上滑动，能够将清洗液中的杂物过滤出来，并可以对金属滤网拆卸更换或者清洗，使清洗液可以循环使用多次，节省了资源，降低清洗过程的成本，通过设置密封槽和调节腔，当滚轮与滑动棒摩擦力降低后，通过转动螺栓，能够对密封槽内部增压，延长了滑动框在清洗槽内部滑动的稳定性，延长了使用寿命。

本实用新型一种自动化半导体制造设备在权利要求书中公布了：1.一种自动化半导体制造设备，包括半导体超声波清洗机（1）和开设在半导体超声波清洗机（1）内部的清洗槽（2），其特征在于：所述清洗槽（2）的内部等距固定连接有滑动棒（3），所述清洗槽（2）的内部密封滑动连接有滑动框（4），所述滑动框（4）的内部固定连接有定位框（5），所述定位框（5）的表面固定连接有第一磁铁（6），所述第一磁铁（6）的表面吸附有第二磁铁（7），所述第二磁铁（7）的表面固定连接有金属滤网（8），所述金属滤网（8）的表面固定连接有拉杆（9），所述滑动框（4）的内部固定连接有固定筒（10），所述固定筒（10）的内部顶端与底端均固定连接有密封筒（11），所述固定筒（10）的外表面固定连接有固定块（12），所述固定块（12）的内部开设有密封槽（13），所述密封槽（13）的内部密封滑动连接有密封板（14），所述密封板（14）的表面固定连接有连接块（15），所述连接块（15）的表面固定安装有内转子电机（16），所述内转子电机（16）的外圈固定连接有滚轮（17），所述固定块（12）的内部开设有调节腔（18），所述调节腔（18）的内部密封滑动连接有调节块（19），所述调节块（19）的内部固定连接有第一轴承（21），所述第一轴承（21）的内部固定连接有螺栓（20），所述螺栓（20）的外表面固定安装有第二轴承（22）。

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