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龙图腾网获悉上海大学申请的专利一种测控一体化空间微机电推力器获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118770580B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-22发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410912806.1，技术领域涉及：B64G1/40；该发明授权一种测控一体化空间微机电推力器是由贺伟国;胡坚强;李哲宇设计研发完成，并于2024-07-09向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种测控一体化空间微机电推力器在说明书摘要公布了：本发明涉及一种测控一体化空间微机电推力器，包括装置本体和与装置本体连接的控制模块，装置本体包括依次设置的流量控制区、流量监测区和加热区，装置本体内设有贯穿流量控制区、流量监测区和加热区气体流道，气体流道位于流量控制区的一端为气体入口，位于加热区的另一端为气体出口，气体入口连接气源。与现有技术相比，本发明具有装置本体设置流量控制区、流量监测区和加热区，仅通过装置本体即可实现气体流量的控制、监测和加热，整体结构体积小；通过压电薄膜和柔性膜的形变进行高频率的开关动作，实现了稳定且连续的气体流量输出，响应时间短；加热模块包括加热电阻和悬空结构，防止热量向芯片内部扩散，实现了高稳定性和可靠性等优点。

本发明授权一种测控一体化空间微机电推力器在权利要求书中公布了：1.一种测控一体化空间微机电推力器，其特征在于，包括装置本体和与装置本体连接的控制模块，所述装置本体包括依次设置的流量控制区（1）、流量监测区（2）和加热区（3），所述装置本体内设有贯穿流量控制区（1）、流量监测区（2）和加热区（3）的气体流道（4），所述气体流道（4）位于流量控制区（1）的一端为气体入口（40），位于加热区（3）的另一端为气体出口（41），所述气体入口（40）连接气源； 所述的流量控制区（1）设有压电薄膜（10）和柔性膜（11），所述柔性膜（11）安装在气体流道（4）一侧，且与装置本体之间具有空腔，所述压电薄膜（10）贴设在柔性膜（11）表面且位于空腔内；所述压电薄膜（10）连接控制模块，所述控制模块控制压电薄膜（10）关闭或开启气体流道（4）； 所述的压电薄膜（10）采用物理溅射的方式制备； 所述的流量监测区（2）内设有均安装在气体流道（4）一侧的温度传感器（20）和第一加热模块（21），所述温度传感器（20）为两个，所述第一加热模块（21）安装在两个温度传感器（20）之间； 所述的第一加热模块（21）包括加热电阻和悬空结构，所述加热电阻采用微纳加工工艺制造，所述悬空结构位于加热电阻和装置本体之间，采用各向异性深刻蚀与可控侧向刻蚀制造。

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