捷捷半导体有限公司徐冠东获国家专利权
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龙图腾网获悉捷捷半导体有限公司申请的专利一种半导体玻璃钝化电泳装置及系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223134620U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-22发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421729499.5，技术领域涉及：C25D13/12；该实用新型一种半导体玻璃钝化电泳装置及系统是由徐冠东;张超;沈怡东;李奕轩设计研发完成，并于2024-07-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种半导体玻璃钝化电泳装置及系统在说明书摘要公布了：本申请提供了一种半导体玻璃钝化电泳装置及系统，涉及半导体技术领域。该装置包括装片架、电极板、内槽、外槽和水泵。装片架和电极板均设置于内槽中，水泵设置于外槽中。通过装片架将晶圆固定在内槽玻璃粉溶液的液面上方，若内槽玻璃粉溶液的液面过低，则通过水泵将外槽中的玻璃粉溶液抽回至内槽。若内槽玻璃粉溶液的液面过高，则通过内槽出水口将内槽中的玻璃粉溶液溢流至外槽。通过将玻璃粉溶液在内外两个槽中进行循环，不仅有效解决了玻璃粉溶液在长时间作业过程中的玻璃粉沉积问题，还确保了晶圆的一面始终与玻璃粉溶液接触，晶圆的另一面裸露于空气中。实现了对晶圆进行单面电泳，大幅减少了玻璃粉的损耗，提高了玻璃粉的利用率。
本实用新型一种半导体玻璃钝化电泳装置及系统在权利要求书中公布了：1.一种半导体玻璃钝化电泳装置，其特征在于，所述半导体玻璃钝化电泳装置包括：装片架、电极板、内槽、外槽和水泵； 所述电极板和所述装片架均设置于所述内槽中，所述电极板设置于所述内槽的底部，所述装片架设置于所述电极板的上方，且所述装片架和所述电极板均与所述内槽的底部平行，所述装片架用于承载晶圆并使所述晶圆导电；所述装片架连接第一极性的电源，所述电极板连接第二极性的电源，且所述第一极性与玻璃粉的带电极性相反，所述第二极性与玻璃粉的带电极性相同； 所述外槽包围于所述内槽的外侧，且所述外槽的底部低于所述内槽的底部；所述水泵设置于所述外槽中，且所述水泵与所述内槽底部的内槽进水口相连通，所述水泵用于将所述外槽中的玻璃粉溶液抽回至所述内槽，内槽出水口设置于所述内槽的侧壁，且所述内槽出水口靠近所述装片架；所述内槽出水口、水泵和装片架确保所述晶圆的一面始终与所述玻璃粉溶液接触，所述晶圆的另一面裸露于空气中。
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