合肥致真精密设备有限公司程厚义获国家专利权
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龙图腾网获悉合肥致真精密设备有限公司申请的专利一种适用于分子束外延系统的超高温蒸发源装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223134547U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-22发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202421735756.6,技术领域涉及:C23C14/24;该实用新型一种适用于分子束外延系统的超高温蒸发源装置是由程厚义;汪建荣;李玉婷设计研发完成,并于2024-07-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种适用于分子束外延系统的超高温蒸发源装置在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种适用于分子束外延系统的超高温蒸发源装置,具体涉及薄膜沉积技术领域,包括:一体式水冷装置、挡板连接杆、挡板、PBN坩埚、加热体组件、隔离陶瓷、电极连接杆、转动磁耦合和热偶电极;PBN坩埚插接入加热体组件的内部,加热体组件的外部包裹有坦隔热屏;隔离陶瓷设置在加热体组件内;转动磁耦合和热偶电极安装在一体式水冷装置的底部;挡板安装在挡板连接杆的顶部,挡板连接杆与转动磁耦合连接。本实用新型通过在一体式水冷装置中设置固定的循环管路,不仅连接更方便,而且此循环管路不存在残余空间,使冷却更均匀,从而实现了水冷空间的循环利用,进而降温效果的均匀性得到大幅提升,提高了内部加热体组件的使用寿命。
本实用新型一种适用于分子束外延系统的超高温蒸发源装置在权利要求书中公布了:1.一种适用于分子束外延系统的超高温蒸发源装置,其特征在于:所述蒸发源装置包括:一体式水冷装置1、挡板连接杆2、挡板3、PBN坩埚4、加热体组件5、隔离陶瓷6、电极连接杆7、转动磁耦合8和热偶电极9; 所述加热体组件5通过电极连接杆7与一体式水冷装置1可拆卸连接,且所述一体式水冷装置1套接在加热体组件5的外表面,所述加热体组件5与电极连接杆7的顶部可拆卸连接,所述PBN坩埚4插接入加热体组件5的内部,所述加热体组件5的外部包裹有提供PBN坩埚4支撑的坦隔热屏10; 所述隔离陶瓷6设置在加热体组件5内;所述转动磁耦合8和热偶电极9可拆卸安装在一体式水冷装置1的底部;所述挡板3固定安装在挡板连接杆2的顶部,所述挡板连接杆2穿设过一体式水冷装置1,所述挡板连接杆2穿设过一体式水冷装置1的底端与转动磁耦合8的顶部可拆卸连接。
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