江苏实为半导体科技有限公司鲍立宇获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏实为半导体科技有限公司申请的专利一种半导体加热炉管获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223138366U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-22发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202421732037.9,技术领域涉及:F27D11/02;该实用新型一种半导体加热炉管是由鲍立宇;黎静;沈亚南设计研发完成,并于2024-07-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种半导体加热炉管在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种半导体加热炉管,包括加热炉本体,所述加热炉本体包括多个陶瓷纤维层,多个所述陶瓷纤维层依次组装在一起形成加热炉本体,所述加热炉本体内安装有多个加热丝,多个所述加热丝分别安装于多个所述陶瓷纤维层内,多个所述加热丝用于对加热炉本体内进行加热,所述加热炉本体的外侧壁上安装有整体式陶瓷纤维层,所述整体式陶瓷纤维层的外侧壁上安装有冷却组件。本实用新型通过将加热炉划分为多个加热区域共同对加热炉进行加热,使得加热炉内温度分布均匀;多区设计使得加热炉能够适用于更广泛的工艺要求,包括不同材料的沉积和多层结构的制备;多区加热炉能够同时处理多个基材或在多个区域内进行沉积,从而提高了生产效率。
本实用新型一种半导体加热炉管在权利要求书中公布了:1.一种半导体加热炉管,包括加热炉本体,其特征在于,所述加热炉本体包括多个陶瓷纤维层,多个所述陶瓷纤维层依次组装在一起形成加热炉本体,所述加热炉本体内安装有多个加热丝,多个所述加热丝分别安装于多个所述陶瓷纤维层内,多个所述加热丝用于对加热炉本体内进行加热,所述加热炉本体的外侧壁上安装有整体式陶瓷纤维层,所述整体式陶瓷纤维层的外侧壁上安装有冷却组件,所述冷却组件用于对加热炉本体进行降温。
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