芯联先锋集成电路制造(绍兴)有限公司胡海鸿获国家专利权
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龙图腾网获悉芯联先锋集成电路制造(绍兴)有限公司申请的专利离子注入机束流通道校准治具及离子注入机获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223140721U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-22发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421766391.3，技术领域涉及：H01J37/317；该实用新型离子注入机束流通道校准治具及离子注入机是由胡海鸿设计研发完成，并于2024-07-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本离子注入机束流通道校准治具及离子注入机在说明书摘要公布了：本申请涉及一种离子注入机束流通道校准治具及离子注入机。包括：基准定位座，固定安装于离子注入机的电弧室射出口所在的第一端板；基准定位座中间开设有敞开电弧室射出口的第一通孔及定位在第一端板的定位结构；移动定位座，能相对基准定位座沿束流方向移动；移动定位座开设有沿束流方向延伸的第二通孔，第二通孔与电弧室射出口大小一致；移动定位座在沿束流方向移动的过程中，第二通孔保持与电弧室射出口的对准，以通过第二通孔校准离子注入机的加速通道入口；导向件，一端固定连接于基准定位座，另一端沿束流方向延伸；移动定位座开设有可滑动的配合于导向件的导向部，移动定位座能基于导向件和导向部的配合沿束流方向移动。本申请的技术方案，能提高束流的均匀性。
本实用新型离子注入机束流通道校准治具及离子注入机在权利要求书中公布了：1.一种离子注入机束流通道校准治具，其特征在于，包括： 基准定位座，固定安装于所述离子注入机的电弧室射出口所在的第一端板；所述基准定位座中间开设有敞开所述电弧室射出口的第一通孔及定位在所述第一端板的定位结构； 移动定位座，能相对所述基准定位座沿束流方向移动；所述移动定位座开设有沿束流方向延伸的第二通孔，所述第二通孔与所述电弧室射出口大小一致；所述移动定位座在沿束流方向移动的过程中，所述第二通孔保持与所述电弧室射出口的对准，以通过所述第二通孔校准离子注入机的加速通道入口； 导向件，一端固定连接于所述基准定位座，另一端沿束流方向延伸；所述移动定位座开设有可滑动的配合于所述导向件的导向部，所述移动定位座能基于所述导向件和所述导向部的配合沿束流方向移动。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人芯联先锋集成电路制造(绍兴)有限公司，其通讯地址为：312000 浙江省绍兴市越城区皋埠街道临江路518号-17；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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