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龙图腾网获悉哈尔滨工业大学申请的专利基于涡旋光孔径扫描的暗场共焦显微测量装置及其方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118914202B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-22发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411010409.1，技术领域涉及：G01N21/88；该发明授权基于涡旋光孔径扫描的暗场共焦显微测量装置及其方法是由刘俭;刘辰光;华子杰;谷康设计研发完成，并于2024-07-26向国家知识产权局提交的专利申请。

本基于涡旋光孔径扫描的暗场共焦显微测量装置及其方法在说明书摘要公布了：本申请公开了一种基于涡旋光孔径扫描的暗场共焦显微测量装置及其方法，涉及光学精密测量技术领域，其中装置包括：涡旋光生成模块、涡旋光孔径扫描模块、样品扫描模块和暗场锁放探测模块；一方面利用涡旋光孔径扫描模块实现聚焦至样品的聚焦光斑在样品上小范围内扫描，产生振荡信号凸显出样品纳米级缺陷的散射信号。另一方面，利用暗场锁放探测模块实现高灵敏度振荡信号探测。本发明中，涡旋光孔径小范围扫描与暗场锁放探测功能的相结合，实现小于50纳米级缺陷的高灵敏度检测。

本发明授权基于涡旋光孔径扫描的暗场共焦显微测量装置及其方法在权利要求书中公布了：1.一种基于涡旋光孔径扫描的暗场共焦显微测量装置，其特征在于，包括：涡旋光生成模块、涡旋光孔径扫描模块、样品扫描模块和暗场锁放探测模块； 所述涡旋光生成模块用于生成涡旋光； 所述涡旋光孔径扫描模块按照所述涡旋光生成模块生成的涡旋光的光线传播方向依次包括：反射镜、单轴扫描振镜、扩束器、非偏振分束器和物镜； 所述非偏振分束器用于将所述扩束器输出的光束和样品反射的信号回光进行分束； 所述物镜用于将分束后的所述扩束器输出的光束聚焦于所述样品上以及收集所述信号回光并入射至所述非偏振分束器； 所述单轴扫描振镜用于控制反射镜反射的涡旋光的光束传输方向以使扫描过程中入射至物镜的涡旋光中心的暗斑在物镜入瞳范围内偏离入瞳中心往返移动以及聚焦于所述样品上的聚焦光斑在样品的小范围内往返振荡扫描；范围的大小是根据物镜的孔径和波长确定的，具体为5至10倍的Na2λ；Na表示物镜的孔径，λ表示波长； 所述样品扫描模块用于在扫描过程中控制样品移动以使样品上的聚焦光斑在样品内进行二维扫描或三维扫描； 所述暗场锁放探测模块按照所述非偏振分束器分束后的信号回光的光线传播方向依次包括：光阑、聚焦透镜、针孔、光电倍增管和锁相放大器； 所述光阑用于滤除所述信号回光中的反射光保留光束中心的散射光； 所述聚焦透镜用于将所述光阑输出的散射光进行聚焦并由所述针孔入射至所述光电倍增管；所述光电倍增管用于将接收的散射光的光信号转换成电信号；所述锁相放大器用于将所述光电倍增管输出的电信号进行锁相放大处理。

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