芯恩(青岛)集成电路有限公司束恩龙获国家专利权
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龙图腾网获悉芯恩(青岛)集成电路有限公司申请的专利化学品管路的气动阀监测装置及半导体设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223137636U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-22发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421814262.7，技术领域涉及：F17D1/08；该实用新型化学品管路的气动阀监测装置及半导体设备是由束恩龙;陈炜设计研发完成，并于2024-07-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本化学品管路的气动阀监测装置及半导体设备在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种化学品管路的气动阀监测装置及半导体设备，包括：缓冲罐，设于与化学品存储容器相连的化学品管路上，气动阀位于所述缓冲罐与所述化学品存储容器之间；检测机构，设于所述缓冲罐上且用于检测所述缓冲罐内是否有化学品溶剂；警报器，与所述检测机构通讯连接，当所述检测机构检测到所述化学品溶剂时，触发所述警报器发出警报。本实用新型通过在所述化学品管路上设置缓冲罐，当气动阀错误地开启或气动阀失效时，化学品溶剂会先流入缓冲罐内，所述检测机构检测到所述化学品溶剂时，触发所述警报器发出警报，以及时地提醒操作人员采取措施，避免在量产阶段造成无法估量的损失。
本实用新型化学品管路的气动阀监测装置及半导体设备在权利要求书中公布了：1.一种化学品管路的气动阀监测装置，其特征在于，包括： 缓冲罐，设于与化学品存储容器相连的化学品管路上，气动阀位于所述缓冲罐与所述化学品存储容器之间； 检测机构，设于所述缓冲罐上且用于检测所述缓冲罐内是否有化学品溶剂； 警报器，与所述检测机构通讯连接，当所述检测机构检测到所述化学品溶剂时，触发所述警报器发出警报。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人芯恩(青岛)集成电路有限公司，其通讯地址为：266000 山东省青岛市黄岛区太白山路19号德国企业南区401；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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