上海辰仪测量技术有限公司强小勇获国家专利权
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龙图腾网获悉上海辰仪测量技术有限公司申请的专利一种MEMS传感器密封结构获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223134116U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-22发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202421846442.3,技术领域涉及:B81B7/02;该实用新型一种MEMS传感器密封结构是由强小勇;王正旺设计研发完成,并于2024-08-01向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种MEMS传感器密封结构在说明书摘要公布了:本实用新型涉及微电子封装技术领域,尤其为一种MEMS传感器密封结构,包括陶瓷基板,陶瓷基板顶部一侧连接设置有MEMS芯片,位于陶瓷基板上陶瓷基板另一侧设置有电信号芯片,陶瓷基板上设置有用于对芯片进行密封的密封结构,密封结构包括有封装外壳、位于封装外壳内部的第一密封组件和位于封装外壳外部的第二密封组件,第一密封组件包括有第一密封橡胶和第二密封橡胶,第二密封组件包括有弹性热缩橡胶套,弹性热缩橡胶套套设位于封装外壳与陶瓷基板连接缝隙处;本申请提高MEMS传感器的稳定性和可靠性,密封结构通过多层防护和精密设计,保护MEMS传感器免受外部环境的影响,确保其在各种应用中的精确度和长期可靠性。
本实用新型一种MEMS传感器密封结构在权利要求书中公布了:1.一种MEMS传感器密封结构,包括陶瓷基板1,其特征在于:所述陶瓷基板1顶部一侧连接设置有MEMS芯片11,位于所述陶瓷基板1上所述陶瓷基板1另一侧设置有电信号芯片12,所述陶瓷基板1上设置有用于对芯片进行密封的密封结构,所述密封结构包括有封装外壳2、位于所述封装外壳2内部的第一密封组件和位于所述封装外壳2外部的第二密封组件。
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