东莞市鼎力自动化科技有限公司李成获国家专利权
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龙图腾网获悉东莞市鼎力自动化科技有限公司申请的专利一种水清洗箱获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223128738U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-22发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202421859928.0,技术领域涉及:B08B3/02;该实用新型一种水清洗箱是由李成;姚禄华;邱立阳;赵江风;赵燕飞设计研发完成,并于2024-08-02向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种水清洗箱在说明书摘要公布了:本实用新型涉及晶圆片表面处理加工设备技术领域,尤其涉及一种水清洗箱,包括容器、隔板、喷淋组件及阀门组件;隔板设于容器内,所述隔板将容器分成上腔和下腔,所述上腔和下腔连通,所述喷淋组件包括若干个喷头,所述喷头位于容器的上方;所述容器设有第一通孔,所述第一通孔位于隔板的下方,所述阀门组件包括驱动源及孔盖板,所述驱动源驱动孔盖板运动使得孔盖板堵住第一通孔或远离第一通孔;过在容器的底部设置阀门组件,容器的底部加工第一通孔,阀门组件由驱动源和孔盖板组成,驱动源驱动孔盖板运动使得孔盖板快速堵住第一通孔或快速脱离第一通孔,使得容器内的清洗液快速流出,从而避免在晶圆片表面出现残留液的现象,满足生产要求。
本实用新型一种水清洗箱在权利要求书中公布了:1.一种水清洗箱,其特征在于:包括容器1、隔板2、喷淋组件3及阀门组件4; 所述隔板2设于容器1内,所述隔板2将容器1分成上腔和下腔,所述上腔和下腔连通,所述喷淋组件3包括若干个喷头31,所述喷头31位于容器1的上方; 所述容器1设有第一通孔11,所述第一通孔11位于隔板2的下方,所述阀门组件4包括驱动源41及孔盖板42,所述驱动源41驱动孔盖板42运动使得孔盖板42堵住第一通孔11或远离第一通孔11。
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