中芯国际集成电路制造(上海)有限公司郭超获国家专利权
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龙图腾网获悉中芯国际集成电路制造(上海)有限公司申请的专利一种传送装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223140020U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-22发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421936543.X，技术领域涉及：G03F1/66；该实用新型一种传送装置是由郭超设计研发完成，并于2024-08-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种传送装置在说明书摘要公布了：本申请提供一种传送装置，用于转运光罩，包括：用于放置光罩的封闭的腔室，所述腔室的内部设置有至少一个温度传感器，用于获取所述腔室的温度并发送温度信号；加热件，位于所述腔室内部，用于调节所述腔室的温度；控制器，与所述加热件以及所述温度传感器电连接，用于接收所述温度信号并调控所述加热件的开关以及加热功率。本申请提供的传送装置，可以对光罩进行可调控的升温和降温，以在不同温度的设备之间转移光罩的同时避免光罩的图形发生形变。
本实用新型一种传送装置在权利要求书中公布了：1.一种传送装置，用于转运光罩，其特征在于，包括： 用于放置光罩的封闭的腔室，所述腔室的内部设置有至少一个温度传感器，用于获取所述腔室的温度并发送温度信号； 加热件，位于所述腔室内部，用于调节所述腔室的温度；以及 控制器，与所述加热件以及所述温度传感器电连接，用于接收所述温度信号并调控所述加热件的开关以及加热功率。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人中芯国际集成电路制造(上海)有限公司，其通讯地址为：201203 上海市浦东新区张江路18号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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