广东长兴半导体科技有限公司张治强获国家专利权
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龙图腾网获悉广东长兴半导体科技有限公司申请的专利一种晶圆翻盘治具获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223140755U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-22发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202421968729.3,技术领域涉及:H01L21/687;该实用新型一种晶圆翻盘治具是由张治强;郭东林;牛玉雷;李子忻设计研发完成,并于2024-08-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆翻盘治具在说明书摘要公布了:本实用新型涉及半导体制造领域,尤其涉及一种晶圆翻盘治具,工作台的右部设置有治具组件,工作台与治具组件通过连接在工作台右部的翻转组件相互连接,工作台的左部顶面连接有检测组件,治具组件包括连接在翻转组件上的放置盘,放置盘的中部设置有通槽,放置盘的上下两侧均转动且滑动连接有至少一个旋转杆,旋转杆上设置有凹槽,放置盘的左右两侧螺纹套设有限位杆,限位杆的一端与凹槽相互配合。本实用新型通过设置有治具组件,通过翻转组件旋转一百八十度后,启动位于上部的微型电动推杆,进而通过一系列传动使得位于上部的顶块不再夹紧晶圆,且避开了通槽的位置,使得工业相机能完美的检测到晶圆的背面,而不会受到顶块遮挡的影响。
本实用新型一种晶圆翻盘治具在权利要求书中公布了:1.一种晶圆翻盘治具,包括有工作台1,其特征在于,工作台1的右部设置有治具组件,工作台1与治具组件通过连接在工作台1右部的翻转组件相互连接,工作台1的左部顶面连接有检测组件,治具组件包括连接在翻转组件上的放置盘401,放置盘401的中部设置有通槽4011,放置盘401的上下两侧均转动且滑动连接有至少一个旋转杆402,旋转杆402上设置有凹槽4021,放置盘401的左右两侧螺纹套设有限位杆405,限位杆405的一端与凹槽4021相互配合,旋转杆402上固接有连接块409,连接块409上安装有顶块408,旋转杆402的一端上固接有齿轮404,放置盘401内上下两侧均滑动连接有至少一个齿条403,齿条403与齿轮404相互啮合,齿条403的一端固接有连接板406,放置盘401内上下两侧均安装有微型电动推杆407,微型电动推杆407的伸缩杆与连接板406固接。
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