北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司牛来友获国家专利权
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龙图腾网获悉北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司申请的专利一种管路系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223140727U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-22发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421970046.1，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型一种管路系统是由牛来友;段昧存设计研发完成，并于2024-08-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种管路系统在说明书摘要公布了：本申请提供一种管路系统，用于工艺腔室内的液体排放，包括：排液管路，所述排液管路的第一端与所述工艺腔室的至少一个排废口连通；以及气液分离装置，所述气液分离装置包括分离腔，所述分离腔设置有第一进液口、排气口以及排液口，所述第一进液口与所述排液管路的第二端连通；所述排气口用于连接排风系统；以及所述排液口用于连接废液处理系统。本申请提供的管路系统可以避免化学品在排液管路中的残留积聚，以及避免化学品挥发的气体反流至工艺腔室。
本实用新型一种管路系统在权利要求书中公布了：1.一种管路系统，用于工艺腔室内的液体排放，其特征在于，包括： 排液管路，所述排液管路的第一端与所述工艺腔室的至少一个排废口连通；以及 气液分离装置，所述气液分离装置包括分离腔，所述分离腔设置有第一进液口、排气口以及排液口，所述第一进液口与所述排液管路的第二端连通；所述排气口用于连接排风系统；以及所述排液口用于连接废液处理系统。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司，其通讯地址为：100176 北京市大兴区经济技术开发区文昌大道18号9幢一层；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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