苏州德龙激光股份有限公司赵裕兴获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州德龙激光股份有限公司申请的专利连杆式晶圆寻边定位机构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223140726U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-22发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421962910.3，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型连杆式晶圆寻边定位机构是由赵裕兴;卢铎文设计研发完成，并于2024-08-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本连杆式晶圆寻边定位机构在说明书摘要公布了：本实用新型涉及一种连杆式晶圆寻边定位机构，包括轨迹基板以及安装在轨迹基板上中部的晶圆吸盘；在传动基板和轨迹基板之间安装有定心转盘，在传动基板的底部一侧安装有第二伺服电机，第二伺服电机顶部的驱动端与位于传动基板上方的主动齿轮相连接，主动齿轮与安装在定心转盘底部的从动齿轮啮合；在定心转盘上沿着圆周方向均布有若干个连杆组件。本实用新型可同时兼容六寸及八寸晶圆作业。本实用新型使用连杆式的夹爪通过单轴由晶圆外形精度拟合晶圆圆心将晶圆定位，不再使用晶圆校准器的X\Y\θ三个运动轴联动完成此动作。
本实用新型连杆式晶圆寻边定位机构在权利要求书中公布了：1.连杆式晶圆寻边定位机构，包括轨迹基板（1）以及安装在轨迹基板（1）上中部的晶圆吸盘（3）；其特征在于：所述轨迹基板（1）的底部通过动力连接板（42）与下方的传动基板（16）相连接，在所述传动基板（16）和轨迹基板（1）之间安装有定心转盘（17），在所述传动基板（16）的底部一侧安装有第二伺服电机（11），所述第二伺服电机（11）顶部的驱动端与位于传动基板（16）上方的主动齿轮（10）相连接，所述主动齿轮（10）与安装在定心转盘（17）底部的从动齿轮（12）啮合； 在所述定心转盘（17）上沿着圆周方向均布有若干个连杆组件（2），所述连杆组件（2）包括导向套（32）、连杆（35）和滑轴（36），所述连杆（35）的内侧底部转动安装在定心转盘（17）上，在所述连杆（35）的外侧顶部转动安装有滑轴（36），在所述滑轴（36）正上方的轨迹基板（1）上开设有滑轴随动槽，所述滑轴（36）位于滑轴随动槽内，在所述滑轴（36）的顶部安装有导向套（32），所述导向套（32）位于轨迹基板（1）的上方。
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