浙江大学湖州研究院龚海获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江大学湖州研究院申请的专利一种晶圆上下表面同时检测的相机支架获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223139372U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-22发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202421987341.8,技术领域涉及:G01N21/01;该实用新型一种晶圆上下表面同时检测的相机支架是由龚海;周鹏;高涵;沈海江;顾溢杰;陈俊秀设计研发完成,并于2024-08-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆上下表面同时检测的相机支架在说明书摘要公布了:本实用新型公开一种晶圆上下表面同时检测的相机支架,包括相机滑轨底座、相机顶座和立柱匹配形成的立体框架,框架内包括晶圆承载平台,其安装于立柱上,框架内还包括抓取晶圆放置于晶圆承载平台的机械手。本实用新型可以同时对晶圆上下面进行检测,生产效率高,无需人眼观察,可直接拍照。
本实用新型一种晶圆上下表面同时检测的相机支架在权利要求书中公布了:1.一种晶圆上下表面同时检测的相机支架,其特征在于,包括相机滑轨底座、相机顶座和立柱匹配形成的立体框架,框架内包括晶圆承载平台,其安装于所述立柱上,框架内还包括抓取晶圆放置于所述晶圆承载平台的机械手。
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