深圳市矩阵多元科技有限公司陈卫中获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市矩阵多元科技有限公司申请的专利机械手指组件、机械手以及真空镀膜设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223130725U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-22发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422019347.2,技术领域涉及:B25J15/08;该实用新型机械手指组件、机械手以及真空镀膜设备是由陈卫中;张亮;龚文志;邵寿潜;张晓军设计研发完成,并于2024-08-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本机械手指组件、机械手以及真空镀膜设备在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种机械手指组件、机械手以及真空镀膜设备,机械手指组件包括手指本体、多个吸盘和多个防滑垫,手指本体设有多个安装结构,手指本体设有气流通道,气流通道延伸至多个安装结构,气流通道用于连接真空发生器,多个吸盘能分别安装于多个安装结构并能从安装结构拆卸,多个防滑垫能分别安装于多个安装结构并能从安装结构拆卸,其中,在多个安装结构均安装吸盘时,吸盘与气流通道连通,以吸附基片;在多个安装结构均安装防滑垫时,多个防滑垫用于配合承托基片。本实用新型的机械手指组件、机械手以及真空镀膜设备,不仅能够在大气环境下进行基片传输,而且能够在真空环境下进行基片传输,功能更加多样,实用性更好。
本实用新型机械手指组件、机械手以及真空镀膜设备在权利要求书中公布了:1.一种机械手指组件,其特征在于,包括: 手指本体,设有多个安装结构,所述手指本体设有气流通道,所述气流通道延伸至多个所述安装结构,所述气流通道用于连接真空发生器; 多个吸盘,能分别安装于多个所述安装结构并能从所述安装结构拆卸; 多个防滑垫,能分别安装于多个所述安装结构并能从所述安装结构拆卸; 其中,在多个所述安装结构均安装所述吸盘时,所述吸盘与所述气流通道连通,以吸附基片;在多个所述安装结构均安装所述防滑垫时,多个所述防滑垫用于配合承托所述基片。
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