深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司谢进学获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司申请的专利喷淋装置及原子层沉积设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223134579U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-22发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422039089.4，技术领域涉及：C23C16/455；该实用新型喷淋装置及原子层沉积设备是由谢进学;左忠祥;张凡;邓云鹏设计研发完成，并于2024-08-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本喷淋装置及原子层沉积设备在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种喷淋装置及原子层沉积设备。本实用新型的喷淋装置包括框架主体、第一匀气件、第二匀气件以及喷淋组件，框架主体限定有进气口；第一匀气件包括第一匀气通道，第一匀气通道包括与进气口连通的第一入口以及多个第一出口；第二匀气件包括有多个互不连通的第二匀气通道，各第二匀气通道均包括与第一出口连通的第二入口以及第二出口；喷淋组件包括多个互不连通的第三匀气通道，各第三匀气通道均包括与第二出口连通的第三入口以及多个喷淋孔；其中，第一匀气通道沿水平面分布，第三匀气通道沿竖直面分布。该喷淋装置通过多级的分流以使同级的各个流道中的气体压力和流量保持基本一致，从而极大地提升了镀膜的均匀性。
本实用新型喷淋装置及原子层沉积设备在权利要求书中公布了：1.喷淋装置，其特征在于，包括： 框架主体，所述框架主体限定有进气口； 第一匀气件，所述第一匀气件包括第一匀气通道，所述第一匀气通道包括与所述进气口连通的第一入口以及多个第一出口； 第二匀气件，所述第二匀气件包括有多个互不连通的第二匀气通道，各所述第二匀气通道均包括与所述第一出口连通的第二入口以及第二出口； 喷淋组件，所述喷淋组件包括多个互不连通的第三匀气通道，各所述第三匀气通道均包括与所述第二出口连通的第三入口以及多个喷淋孔； 其中，所述第一匀气通道沿水平面分布，所述第三匀气通道沿竖直面分布。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司，其通讯地址为：518000 广东省深圳市坪山区龙田街道竹坑社区金牛东路62号一层至六层；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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