北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司赵雅婧获国家专利权
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龙图腾网获悉北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司申请的专利一种喷淋板获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223134581U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-22发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422044970.3，技术领域涉及：C23C16/455；该实用新型一种喷淋板是由赵雅婧;韩绪爽;郝葆华设计研发完成，并于2024-08-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种喷淋板在说明书摘要公布了：本申请提供一种喷淋板，包括：板体，所述板体至少一侧端面设置有以端面中心为圆心交替分布的第一气孔圈和第二气孔圈；任意一个所述第一气孔圈由等间距分布的多个第一出气孔组成；任意一个所述第二气孔圈由多个所述第一出气孔与多个第二出气孔组成，其中所述第一出气孔等间距分布，所述第二出气孔位于相邻的所述第一出气孔之间；其中，所述端面包括从所述端面中心向边缘依次排布的第一区、第二区以及第三区，对于所述第二区，所述第二气孔圈中部分相邻的所述第一出气孔之间的间隔不设置所述第二出气孔。本申请提供的喷淋板通过设置出气孔在喷淋板上的排布方式，提高了晶圆表面沉积薄膜的均匀性。
本实用新型一种喷淋板在权利要求书中公布了：1.一种喷淋板，其特征在于，包括： 板体，所述板体至少一侧端面设置有以端面中心为圆心交替分布的第一气孔圈和第二气孔圈；任意一个所述第一气孔圈由等间距分布的多个第一出气孔组成；任意一个所述第二气孔圈由多个所述第一出气孔与多个第二出气孔组成，其中所述第一出气孔等间距分布，所述第二出气孔位于相邻的所述第一出气孔之间；所述第二出气孔的横截面积大于所述第一出气孔的横截面积； 其中，所述端面包括从所述端面中心向边缘依次排布的第一区、第二区以及第三区；所述第一区、所述第二区以及所述第三区沿所述端面径向的长度比为50～60：90～120：38～58； 对于所述第一区和所述第三区，所述第二气孔圈中每相邻的所述第一出气孔之间的间隔均设置有所述第二出气孔；对于所述第二区，所述第二气孔圈中部分相邻的所述第一出气孔之间的间隔不设置所述第二出气孔。
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