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上海华力集成电路制造有限公司周洪举获国家专利权

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龙图腾网获悉上海华力集成电路制造有限公司申请的专利反射挡板夹具获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223140742U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-22发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422075874.5,技术领域涉及:H01L21/677;该实用新型反射挡板夹具是由周洪举;张叶;范敏军设计研发完成,并于2024-08-26向国家知识产权局提交的专利申请。

反射挡板夹具在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种反射挡板夹具,其用于半导体晶圆自动物料搬运系统,包括:伸缩杆一端连接夹头的连接部;夹头包括:连接部、支撑部和弹性部;连接部形成在支撑部下端;弹性部下部固定连接在支撑部下部,其用于插入反射挡板的连接口;非受力状态下,弹性部上部与支撑部上部之间始终形成有间隙。本实用新型的夹头采用金属材料制造使轨道登高作业安全系数得到保障,减少了维护人力,明显提高登高作业的工作效率,对整个生产顺利进行有很大的积极作用。本实用新型的弹性部上部与支撑部上部之间始终形成有间隙有利于弹性部插入连接口,能提高操作的便利性。本实用新型坚实耐用,不仅适用于挂反射挡板,也可作为轨道维护辅助用具。

本实用新型反射挡板夹具在权利要求书中公布了:1.一种反射挡板夹具,其用于半导体晶圆自动物料搬运系统,其特征在于,包括: 伸缩杆1,其一端连接夹头2的连接部3; 夹头2,包括:连接部3、支撑部4和弹性部5; 连接部3,其形成在支撑部4下端; 弹性部5,其下部固定连接在支撑部4下部,其用于插入反射挡板的连接口; 非受力状态下,弹性部5上部与支撑部4上部之间始终形成有间隙。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人上海华力集成电路制造有限公司,其通讯地址为:201203 上海市浦东新区康桥东路298号1幢1060室;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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