华耀光电科技股份有限公司荀耀获国家专利权
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龙图腾网获悉华耀光电科技股份有限公司申请的专利分片侧喷嘴及应用其的硅片分片结构获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223140728U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-22发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422082323.1,技术领域涉及:H01L21/67;该实用新型分片侧喷嘴及应用其的硅片分片结构是由荀耀;闫福东;苗强;王涛;张惠君;刘晓军设计研发完成,并于2024-08-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本分片侧喷嘴及应用其的硅片分片结构在说明书摘要公布了:本实用新型涉及插片机领域,具体涉及一种分片侧喷嘴及应用其的硅片分片结构。分片侧喷嘴包括安装体和鸭嘴式喷嘴本体,所述安装体具有进液腔,所述鸭嘴式喷嘴本体安装在所述安装体上,并连通所述进液腔,所述鸭嘴式喷嘴本体的出口正对硅片的角部,呈长条状,且沿硅片厚度方向延伸。本实用新型采用鸭嘴式喷嘴本体,不易堵塞,且分片效果好。
本实用新型分片侧喷嘴及应用其的硅片分片结构在权利要求书中公布了:1.一种分片侧喷嘴,其特征在于, 包括安装体(1)和鸭嘴式喷嘴本体(2),所述安装体(1)具有进液腔(11),所述鸭嘴式喷嘴本体(2)安装在所述安装体(1)上,并连通所述进液腔(11),所述鸭嘴式喷嘴本体(2)的出口正对硅片的角部,呈长条状,且沿硅片厚度方向延伸。
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