苏州普微迪纳米科技有限公司寇恒权获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州普微迪纳米科技有限公司申请的专利一种脉冲离子镀氮化物涂层复合ta-C、氧化铝涂层沉积装备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223134556U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-22发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422067729.2，技术领域涉及：C23C14/32；该实用新型一种脉冲离子镀氮化物涂层复合ta-C、氧化铝涂层沉积装备是由寇恒权设计研发完成，并于2024-08-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种脉冲离子镀氮化物涂层复合ta-C、氧化铝涂层沉积装备在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种脉冲离子镀氮化物涂层复合ta‑C、氧化铝涂层沉积装备，包括：设备外壳、抽真空装置和氩气注入装置；设备外壳内设有真空腔室；设备外壳上安装有多个位于不同水平方向的离子源装置，且离子源装置与真空腔室相连通；设备外壳上固定安装有抽真空装置和氩气注入装置；抽真空装置和氩气注入装置均与真空腔室相连通；设备外壳上转动安装有基材固定装置，并由固定安装在设备外壳上的电机驱动；基材固定装置位于真空腔室内的中心位置处；本实用新型通过在方舱和设备外壳的多个水平方向上安装离子源装置，能够依次对基材进行涂层制备，从而完成氮化物涂层复合ta‑C、氧化铝涂层的制备。
本实用新型一种脉冲离子镀氮化物涂层复合ta-C、氧化铝涂层沉积装备在权利要求书中公布了：1.一种脉冲离子镀氮化物涂层复合ta-C、氧化铝涂层沉积装备，其特征在于，包括：设备外壳1、抽真空装置、氩气注入装置和控制装置； 所述设备外壳1内设有真空腔室；所述设备外壳1上安装有多个位于不同水平方向的离子源装置3，且离子源装置3与真空腔室相连通； 所述设备外壳1上固定安装有抽真空装置和氩气注入装置；所述抽真空装置和氩气注入装置均与真空腔室相连通； 所述设备外壳1上转动安装有基材固定装置6，并由固定安装在设备外壳1上的电机5驱动；所述基材固定装置6位于真空腔室内的中心位置处，并与多个离子源装置3对应； 所述控制装置用于控制除自身之外的整个脉冲离子镀氮化物涂层复合ta-C、氧化铝涂层沉积装备的运行。
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