芯联越州集成电路制造(绍兴)有限公司鞠瑞获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉芯联越州集成电路制造(绍兴)有限公司申请的专利离子注入机的晶圆夹持装置及离子注入机获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223140758U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-22发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422085578.3，技术领域涉及：H01L21/687；该实用新型离子注入机的晶圆夹持装置及离子注入机是由鞠瑞;关春龙;赵飞设计研发完成，并于2024-08-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本离子注入机的晶圆夹持装置及离子注入机在说明书摘要公布了：本申请涉及一种离子注入机的晶圆夹持装置及离子注入机。包括：夹持运动件，位于待加工晶圆的外周，能相对第一方向移动；第一方向为待加工晶圆的径向；夹持件底座，固定于夹持运动件上，能跟随夹持运动件的运动而运动；夹持接触件，配置为从待加工晶圆的径向抵接待加工晶圆的外缘；夹持接触件包括相互固定的固定部和夹持部，固定部沿第二方向插入夹持件底座，夹持件底座开设有与固定部相适配的安装孔；夹持部在第二方向凸出于夹持件底座，夹持部在第一方向上设置有至少一圈圆形的夹持环；第二方向为待加工晶圆的轴向。本申请的技术方案，能降低生产成本和提高晶圆加工质量。
本实用新型离子注入机的晶圆夹持装置及离子注入机在权利要求书中公布了：1.一种离子注入机的晶圆夹持装置，其特征在于，包括多个在待加工晶圆的周向均布、以夹持所述待加工晶圆的夹持组件，所述夹持组件包括： 夹持运动件，位于所述待加工晶圆的外周，能相对第一方向移动；所述第一方向为所述待加工晶圆的径向； 夹持件底座，固定于所述夹持运动件上，能跟随所述夹持运动件的运动而运动； 夹持接触件，配置为从所述待加工晶圆的径向抵接所述待加工晶圆的外缘；夹持接触件包括相互固定的固定部和夹持部，所述固定部沿第二方向插入所述夹持件底座，所述夹持件底座开设有与所述固定部相适配的安装孔；所述夹持部在所述第二方向凸出于所述夹持件底座，所述夹持部在第一方向上设置有至少一圈圆形的夹持环；所述第二方向为所述待加工晶圆的轴向。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人芯联越州集成电路制造(绍兴)有限公司，其通讯地址为：312000 浙江省绍兴市越城区皋埠街道临江路508号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由AI智能生成
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号