华中科技大学国伟华获国家专利权
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龙图腾网获悉华中科技大学申请的专利一种测量C+L波段晶圆片整体面PL光谱的系统获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223139400U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-22发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422082815.0,技术领域涉及:G01N21/64;该实用新型一种测量C+L波段晶圆片整体面PL光谱的系统是由国伟华;杨天朗;陆巧银设计研发完成,并于2024-08-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种测量C+L波段晶圆片整体面PL光谱的系统在说明书摘要公布了:本实用新型关于一种测量C+L波段晶圆片整体面PL光谱的系统,涉及半导体激光器技术领域。包括980nm泵浦激光器、光纤耦合器、拉锥光纤、光谱仪、电控二维平移台、载物台和拉锥光纤夹具。载物台用于承载和固定被测试晶圆片及实现测试环境控温散热;电控二维平移台与载物台固定,带动载物台实现测试晶圆片的整体位移;光谱仪用于读取测量的测试晶圆片的发光波长和强度;光纤耦合器与980nm泵浦激光器和拉锥光纤以及光谱仪连接,串联起整个光路结构,能够实现整体面PL谱的测量和绘制。本实用新型测试装置简单,成本低廉;测试方法简单易行,准确性高,适用范围广泛。
本实用新型一种测量C+L波段晶圆片整体面PL光谱的系统在权利要求书中公布了:1.一种测量C+L波段晶圆片整体面PL光谱的系统,其特征在于,包括: 载物台,所述载物台用于固定控温组件和铝板,所述铝板上安装测试晶圆片; 980nm泵浦激光器,所述980nm泵浦激光器发出大功率的980nm波长的激光,通过光路结构照射在所述测试晶圆片上,促使所述测试晶圆片发出荧光; 电控二维平移台,所述电控二维平移台与载物台固定,通过电信号与计算机连接,用于带动载物台实现测试晶圆片的整体平移; 光谱仪,所述光谱仪与光路结构连接,以探测测试晶圆片泵浦后发出的微弱荧光,所述光谱仪还通过电信号与计算机连接,实现测试晶圆片晶圆片各位置处信号的实时保存。
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