嘉兴博瑞半导体装备有限公司吴维国获国家专利权
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龙图腾网获悉嘉兴博瑞半导体装备有限公司申请的专利一种双层碳化硅外延炉获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223134646U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-22发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422112127.4，技术领域涉及：C30B29/36；该实用新型一种双层碳化硅外延炉是由吴维国;彭伟;彭诚纲设计研发完成，并于2024-08-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种双层碳化硅外延炉在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种双层碳化硅外延炉，属于外延炉技术领域，旨在解决现有技术方案在移动轮收起时，安装罩直接与地面接触，若地面出现积水时，积水容易渗入安装罩内部，内部结构容易受潮的问题。包括外延炉主体、支撑机构，支撑机构设置在外延炉主体的底部，支撑机构包括底座、支撑腿、移动轮，底座于外延炉主体的两侧外壁下方对称设置；底座的内部竖向安装有驱动螺杆，驱动螺杆的外部螺纹安装有提升板。该双层碳化硅外延炉，可对外延炉主体进行支撑，使得外延炉主体可根据使用需求进行稳定支撑或移动，底座为侧向设置，不会对外延炉主体造成过大的高度提升，外延炉主体的使用更加方便。
本实用新型一种双层碳化硅外延炉在权利要求书中公布了：1.一种双层碳化硅外延炉，包括外延炉主体1、支撑机构2，其特征在于，所述支撑机构2设置在外延炉主体1的底部，所述支撑机构2包括底座4、支撑腿8、移动轮9，所述底座4于外延炉主体1的两侧外壁下方对称设置； 所述底座4的内部竖向安装有驱动螺杆5，所述驱动螺杆5的外部螺纹安装有提升板10，所述提升板10的外周面滑动贴合底座4的内壁； 所述提升板10的底部固定连接有支撑柱3，所述支撑柱3竖向设置，且底部安装有移动轮9，所述底座4的底部设有可活动升降的支撑腿8。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人嘉兴博瑞半导体装备有限公司，其通讯地址为：314000 浙江省嘉兴市海宁市海昌街道海宁经济开发区海华路7号2幢北面；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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