广西自贸区睿显科技有限公司杨永传获国家专利权
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龙图腾网获悉广西自贸区睿显科技有限公司申请的专利用于晶圆镀膜的蒸镀装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223134548U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-22发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422114739.7，技术领域涉及：C23C14/24；该实用新型用于晶圆镀膜的蒸镀装置是由杨永传;王继彬;黄世茂设计研发完成，并于2024-08-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于晶圆镀膜的蒸镀装置在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种用于晶圆镀膜的蒸镀装置，属于机械技术领域。它解决了现有技术存在着成品率低的问题。本用于晶圆镀膜的蒸镀装置包括机架和机械手，还包括存储单元、作业单元和校正件，上述机械手连接在机架中心处，上述存储单元的数量为一个，作业单元的数量为若干个，一个存储单元和若干作业单元以机械手为基准周向均布在机架上，上述校正件与作业单元一一对应设置。本用于晶圆镀膜的蒸镀装置能提高产品成品率。
本实用新型用于晶圆镀膜的蒸镀装置在权利要求书中公布了：1.一种用于晶圆镀膜的蒸镀装置，包括机架1和机械手2，其特征在于，还包括存储单元3、作业单元4和校正件5，上述机械手2连接在机架1中心处，上述存储单元3的数量为一个，作业单元4的数量为若干个，一个存储单元3和若干作业单元4以机械手2为基准周向均布在机架1上，上述校正件5与作业单元4一一对应设置。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人广西自贸区睿显科技有限公司，其通讯地址为：535000 广西壮族自治区钦州市中国(广西)自由贸易试验区钦州港片区中马钦州产业园区锦绣大道6号11栋；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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