深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司李学文获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司申请的专利石墨舟支撑结构及PECVD镀膜设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223134586U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-22发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422154625.5，技术领域涉及：C23C16/458；该实用新型石墨舟支撑结构及PECVD镀膜设备是由李学文;刘兵吉;肖岳南;王郴意;魏壮设计研发完成，并于2024-09-02向国家知识产权局提交的专利申请。
本石墨舟支撑结构及PECVD镀膜设备在说明书摘要公布了：本实用新型提出了一种石墨舟支撑结构及PECVD镀膜设备，包括第一电极座以及第一承托杆。第一电极座具有第一孔，第一电极座适于支撑石墨舟、且电连接石墨舟。第一承托杆穿设于第一孔。第一电极座与第一承托杆中的一者的外周设有第一槽体、另一者的外周设有第一凸起，第一凸起伸入第一槽体，以限制第一电极座与第一承托杆之间的相对转动。本实用新型方案采用相互配合的第一槽体及第一凸起来起到防转动的效果，使得在简化防转动结构的同时，可省去第一承托杆与其他承托杆之间的连接结构，进而可以减轻石墨舟支撑结构在安装及拆卸维护时的工作难度。因此，本实用新型的石墨舟支撑结构能够便于安装及拆卸维护。
本实用新型石墨舟支撑结构及PECVD镀膜设备在权利要求书中公布了：1.石墨舟支撑结构，其特征在于，包括： 第一电极座，具有第一孔，所述第一电极座适于支撑石墨舟、且电连接所述石墨舟； 第一承托杆，穿设于所述第一孔； 其中，所述第一电极座与所述第一承托杆中的一者的外周设有第一槽体、另一者的外周设有第一凸起，所述第一凸起伸入所述第一槽体，以限制所述第一电极座与所述第一承托杆之间的相对转动。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司，其通讯地址为：518000 广东省深圳市坪山区龙田街道竹坑社区金牛东路62号一层至六层；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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