长沙韶光芯材科技有限公司邓辉获国家专利权
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龙图腾网获悉长沙韶光芯材科技有限公司申请的专利一种用于异形纳米图形的加工结构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223140729U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-22发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422178463.9，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型一种用于异形纳米图形的加工结构是由邓辉;江启明;李铁峰设计研发完成，并于2024-09-05向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于异形纳米图形的加工结构在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种用于异形纳米图形的加工结构，包括：加工件和标准掩膜版，加工件的形状与所需的掩膜形状一致，在纳米图形加工时，将集中在加工件内进行加工，标准掩膜版为标准尺寸的掩膜版，例如6025尺寸，标准掩膜版具有加工面，加工面设有仿形槽，仿形槽与加工件相仿形，仿形槽用于放置加工件，并对加工件进行固定，加工件被配置为：加工件的顶面与加工面沿仿形槽的槽深方向的公差为X，‑0.1μm≤X≤0.1μm。本实施例的用于异形纳米图形的加工结构中的加工件安装于标准尺寸的标准掩膜版内，标准掩膜版在常规量产设备上加工出异形纳米图形，加工件直接与标准掩膜版分离即可得到具有异形纳米图形的掩膜版，良品率更高，制作成本更低。
本实用新型一种用于异形纳米图形的加工结构在权利要求书中公布了：1.一种用于异形纳米图形的加工结构，其特征在于，包括： 加工件； 标准掩膜版，具有加工面，所述加工面设有仿形槽，所述仿形槽与所述加工件相仿形； 其中，所述加工件能够贴合放置于所述仿形槽内，所述加工件被配置为：所述加工件的顶面与所述加工面沿所述仿形槽的槽深方向的公差为X，-0.1μm≤X≤0.1μm。
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