苏州明昌正光电科技有限公司程晔获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州明昌正光电科技有限公司申请的专利晶圆减薄机微量进给机构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223130280U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-22发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422183982.4，技术领域涉及：B24B19/22；该实用新型晶圆减薄机微量进给机构是由程晔;孙庆平设计研发完成，并于2024-09-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆减薄机微量进给机构在说明书摘要公布了：本实用新型属于晶圆减薄加工技术领域，公开了一种晶圆减薄机微量进给机构，包括立柱、一级进给组件和二级进给组件，立柱上设置有竖向导轨，竖向导轨上滑动设置有第一运动板和第二运动板，第一运动板与第二运动板之间设置有斜面块，斜面块的第一侧面与第一运动板保持接触且滑动配合，斜面块的第二侧面与第二运动板保持接触且滑动配合，第一侧面与第二侧面不平行，第二运动板用于安装研磨主轴；一级进给组件用于驱动第一运动板沿着竖向导轨移动；二级进给组件用于驱动斜面块沿着第一运动板移动，进而带动第二运动板沿着竖向导轨移动的同时靠近或远离第一运动板。该机构具有一级基础进给和二级微量进给功能，提高了Z轴进给精度。
本实用新型晶圆减薄机微量进给机构在权利要求书中公布了：1.晶圆减薄机微量进给机构，其特征在于，包括： 立柱1，所述立柱1上设置有竖向导轨2，所述竖向导轨2上滑动设置有第一运动板3和第二运动板4，所述第一运动板3与所述第二运动板4之间设置有斜面块5，所述斜面块5的第一侧面与所述第一运动板3保持接触且滑动配合，所述斜面块5的第二侧面与所述第二运动板4保持接触且滑动配合，所述第一侧面与所述第二侧面不平行，所述第二运动板4用于安装研磨主轴； 一级进给组件，用于驱动所述第一运动板3沿着所述竖向导轨2移动； 二级进给组件，用于驱动所述斜面块5沿着所述第一运动板3移动，进而带动所述第二运动板4沿着所述竖向导轨2移动的同时靠近或远离所述第一运动板3。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人苏州明昌正光电科技有限公司，其通讯地址为：215000 江苏省苏州市吴中区光福镇龙山南路9号1号综合楼一楼研发生产区；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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