南通安翌顺科技有限公司潘洪奇获国家专利权
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龙图腾网获悉南通安翌顺科技有限公司申请的专利一种半导体加工用烘烤设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223140760U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-22发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422212340.2，技术领域涉及：H01L21/687；该实用新型一种半导体加工用烘烤设备是由潘洪奇设计研发完成，并于2024-09-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种半导体加工用烘烤设备在说明书摘要公布了：本申请公开了一种半导体加工用烘烤设备，涉及半导体技术领域。本申请包括：箱体，箱体内转动安装有转动杆，所述转动杆上间隔分布有多个圆板。本申请通过采用分隔机构的设计，在分隔机构动作时，可将箱体分隔为加热腔与缓冲腔，此时通过加热腔对芯片进行烘烤，而在完成烘烤时，可驱动分隔机构反向动作，以使加热腔与缓冲腔连通，随后通过驱动件驱动转动杆转动，将圆板上未烘烤芯片与完成烘烤的芯片调换位置，最后在通过分隔机构将加热腔与缓冲腔再次分隔，可打开箱门取出完成烘烤的芯片，这样的设计，在打开箱门时，工作人员不易被高温空气烫伤，无需排出加热腔内热空气，可有效减少芯片的烘烤时间，降低能耗。
本实用新型一种半导体加工用烘烤设备在权利要求书中公布了：1.一种半导体加工用烘烤设备，其特征在于，包括： 箱体1，箱体1内转动安装有转动杆2，所述转动杆2上间隔分布有多个圆板3，所述圆板3上环形分布有定位孔4； 两个弧形槽5，呈对称状设于箱体1内，并与多个圆板3的外侧活动抵触，两个所述弧形槽5上均设有分隔机构6，通过两个分隔机构6可将箱体1分隔为加热腔7与缓冲腔8，所述加热腔7内设有加热件9，所述箱体1上开设有取放口10，取放口10与缓冲腔8连通，且配套设有用于闭合取放口10的箱门11； 驱动件12，安装于箱体1顶部，通过驱动件12可驱动转动杆2转动； 循环组件13，设于箱体1上，通过循环组件13可对加热腔7内热空气进行循环。
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