北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司牛来友获国家专利权
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龙图腾网获悉北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司申请的专利一种晶圆传送装置和晶圆清洗系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223140744U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-22发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422258267.2，技术领域涉及：H01L21/677；该实用新型一种晶圆传送装置和晶圆清洗系统是由牛来友;马一楠;段昧存设计研发完成，并于2024-09-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆传送装置和晶圆清洗系统在说明书摘要公布了：本申请提供一种晶圆传送装置和晶圆清洗系统，晶圆传送装置包括基座、传动机构、机械臂组件、翻转机构和夹持机构，传动机构设置在基座上，并被配置为相对基座在水平以及垂直方向运动；机械臂组件的第一端连接传动机构，并被配置为绕机械臂组件与传动机构的连接端周向转动；翻转机构连接在机械臂组件的第二端，夹持机构固定连接在翻转机构上，用于夹持晶圆，并在翻转机构的带动下沿垂直基座方向翻转。晶圆清洗系统包括上述晶圆传送装置。本申请的晶圆传送装置简化晶圆翻转装置并将其集成在传输装置中，可以同时进行晶圆翻转和传输，有效提高晶圆传输位置精确度和进行晶圆背面清洗时的晶圆传输效率，并且能降低晶圆传输过程中表面产生污染的风险。
本实用新型一种晶圆传送装置和晶圆清洗系统在权利要求书中公布了：1.一种晶圆传送装置，其特征在于，包括基座、传动机构、机械臂组件、翻转机构和夹持机构，其中， 所述传动机构设置在所述基座上，并被配置为相对所述基座在水平以及垂直方向运动； 所述机械臂组件的第一端连接所述传动机构，并被配置为绕所述机械臂组件与所述传动机构的连接端周向转动； 所述翻转机构连接在所述机械臂组件的第二端，被配置为沿垂直基座方向翻转； 所述夹持机构固定连接在所述翻转机构上，用于夹持晶圆，并在所述翻转机构的带动下沿垂直基座方向翻转。
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