昆明物理研究所江先燕获国家专利权
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龙图腾网获悉昆明物理研究所申请的专利一种防止抛光过程中晶片塌边的夹具获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223130383U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-22发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422261956.9,技术领域涉及:B24B41/06;该实用新型一种防止抛光过程中晶片塌边的夹具是由江先燕;孔金丞;宋林伟;刘燕;彭凝;宁卓;郑要争;刘文军;褚德亮;起文斌;杨晋设计研发完成,并于2024-09-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种防止抛光过程中晶片塌边的夹具在说明书摘要公布了:本实用新型公开一种防止抛光过程中晶片塌边的夹具,包括抛光夹具和配重块,抛光夹具的正面有置片槽和导流槽,背面中心位置有圆形槽,圆形槽的槽径根据塌边尺寸大小进行决定,配重块包括柱形和数片环形配重块,环形配重块套接在柱形配重块上后其任意一端可活动地置于所述圆形槽内。该夹具根据计算出的晶片塌边尺寸设计圆形槽的大小,再通过调整配重块的重量来调整施加在晶片中心和边缘处的压力分布,从而改变晶片的受力情况,实现有效防止晶片抛光时塌边的目的。同时,该夹具制作简单、操作方便。
本实用新型一种防止抛光过程中晶片塌边的夹具在权利要求书中公布了:1.一种防止抛光过程中晶片塌边的夹具,其特征在于: 所述夹具包括抛光夹具1和配重块,所述抛光夹具1的正面设有置片槽4和导流槽6,其背面中心位置设有圆形槽5;所述配重块包括柱形配重块2和环形配重块3,环形配重块3套接在柱形配重块2上后其任意一端可活动地置于所述圆形槽5内; 所述导流槽6与置片槽4相连通,用于抛光液的引流; 所述圆形槽5的大小根据计算出的晶片塌边尺寸确定;通过调整柱形配重块2和或环形配重块3的重量来调整施加在晶片中心和边缘处的压力分布,用于实现防止抛光过程中晶片塌边。
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