均豪精密工业股份有限公司吴庭毅获国家专利权
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龙图腾网获悉均豪精密工业股份有限公司申请的专利基板旋转装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223140763U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-22发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422298258.6，技术领域涉及：H01L21/687；该实用新型基板旋转装置是由吴庭毅;张瑞宗;刘保正设计研发完成，并于2024-09-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板旋转装置在说明书摘要公布了：一种基板旋转装置包含支架、多个第一转轴、多个第二转轴以及驱动模块。第一转轴彼此平行并分别可转动地连接支架，第一转轴之间至少具有第一水平距离。第二转轴分别平行于第一转轴并可转动地连接支架，第二转轴之间至少具有第二水平距离，第二水平距离大于第一水平距离。驱动模块设置于支架并连接第一转轴与第二转轴，驱动模块配置以驱动第一转轴与第二转轴转动。第一转轴与第二转轴配置以承托并带动至少一基板转动。基板旋转装置能顺畅而稳妥地转动平边晶圆。
本实用新型基板旋转装置在权利要求书中公布了：1.一种基板旋转装置，其特征在于，包含： 一支架； 多个第一转轴，彼此平行并分别能转动地连接该支架，所述多个第一转轴之间至少具有一第一水平距离； 多个第二转轴，分别平行于所述多个第一转轴并能转动地连接该支架，所述多个第二转轴之间至少具有一第二水平距离，该第二水平距离大于该第一水平距离；以及 一驱动模块，设置于该支架并连接所述多个第一转轴与所述多个第二转轴，该驱动模块配置以驱动所述多个第一转轴与所述多个第二转轴转动， 其中，所述多个第一转轴与所述多个第二转轴配置以承托并带动至少一基板转动。
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