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龙图腾网获悉深圳市恒运昌真空技术股份有限公司;北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司申请的专利高频阻抗匹配器及等离子体产生装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223141896U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-22发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422341921.6，技术领域涉及：H03H11/28；该实用新型高频阻抗匹配器及等离子体产生装置是由乐卫平;唐亚海;姚志毅;谢幸光设计研发完成，并于2024-09-24向国家知识产权局提交的专利申请。

本高频阻抗匹配器及等离子体产生装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开一种高频阻抗匹配器及等离子体产生装置，阻抗匹配技术领域。其中，阻抗匹配器设有信号接入端与负载接入端，高频阻抗匹配器包括主控电路、频率检测电路、可调滤波电路、可调阻抗匹配装置；可调滤波电路用于将输入的信号频率限制在预设信号频率范围内并输出；频率检测电路用于检测可调滤波电路输出的信号频率并输出频率检测信号；可调阻抗匹配装置用于根据主控电路输出的控制信号调节信号源与负载间的阻抗匹配关系；其中，主控电路用于根据频率检测信号调整可调滤波电路的预设信号频率范围。本实用新型旨在提高高频阻抗匹配电路工作的稳定性。

本实用新型高频阻抗匹配器及等离子体产生装置在权利要求书中公布了：1.一种高频阻抗匹配器，其特征在于，所述阻抗匹配器设有信号接入端与负载接入端，所述高频阻抗匹配器包括主控电路、频率检测电路、可调滤波电路、可调阻抗匹配装置； 所述可调滤波电路的输入端与所述信号接入端电连接，所述可调滤波电路的输出端与所述可调阻抗匹配装置电连接，所述可调滤波电路的受控端与所述主控电路电连接，用于将输入的信号频率限制在预设信号频率范围内并输出； 所述频率检测电路的输入端与所述可调滤波电路的输出端电连接，所述频率检测电路的输出端与所述主控电路电连接，用于检测所述可调滤波电路输出的信号频率并输出频率检测信号； 所述可调阻抗匹配装置的输入端与所述可调滤波电路的输出端电连接，所述可调阻抗匹配装置的输出端与所述负载接入端电连接，所述可调阻抗匹配装置的受控端与所述主控电路电连接，用于根据所述主控电路输出的控制信号调节信号源与负载间的阻抗匹配关系； 其中，所述主控电路用于根据所述频率检测信号调整所述可调滤波电路的预设信号频率范围。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人深圳市恒运昌真空技术股份有限公司;北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司，其通讯地址为：518000 广东省深圳市宝安区西乡街道铁岗社区桃花源智创小镇功能配套区B栋101,201,301；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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