厦门韫茂科技有限公司靳伟获国家专利权
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龙图腾网获悉厦门韫茂科技有限公司申请的专利一种应用于peald设备的等离子体装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223142196U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-22发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422339480.6，技术领域涉及：H05H1/46；该实用新型一种应用于peald设备的等离子体装置是由靳伟;雷志佳;赵茂生设计研发完成，并于2024-09-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种应用于peald设备的等离子体装置在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种应用于peald设备的等离子体装置，涉及等离子体设备技术领域。包括：一等离子体壁管，所述等离子体壁管采用氮化铝材质制成，以使得在等离子体壁管内建立等离子体后，等离子体对壁管的刻蚀效应不会产生氧元素；一RF线圈，所述RF线圈设置于所述等离子体壁管外侧以用于提供向等离子体壁管提供激发电磁场；一法拉第屏蔽筒，所述法拉第屏蔽筒设置于所述等离子体壁管与所述RF线圈之间，以用于对等离子体中的容性能量进行屏蔽。通过本方案可以有效提高等离子体装置的使用寿命以及降低氧元素的影响。
本实用新型一种应用于peald设备的等离子体装置在权利要求书中公布了：1.一种应用于peald设备的等离子体装置，其特征在于，包括： 一等离子体壁管，所述等离子体壁管采用氮化铝材质制成，以使得在等离子体壁管内建立等离子体后，等离子体对壁管的刻蚀效应不会产生氧元素； 一RF线圈，所述RF线圈设置于所述等离子体壁管外侧以用于提供向等离子体壁管提供激发电磁场； 一法拉第屏蔽筒，所述法拉第屏蔽筒设置于所述等离子体壁管与所述RF线圈之间，以用于对等离子体中的容性能量进行屏蔽。
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