深圳市矩阵多元科技有限公司杨福满获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市矩阵多元科技有限公司申请的专利一种分块式磁控管及镀膜设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223140718U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-22发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422348674.2，技术领域涉及：H01J23/02；该实用新型一种分块式磁控管及镀膜设备是由杨福满;杨洪生;朱新华;张晓军;黎佐兴;庞才伟;肖荣锋;冯琳设计研发完成，并于2024-09-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种分块式磁控管及镀膜设备在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种分块式磁控管及镀膜设备，属于半导体生产设备技术领域，分块式磁控管包括多个磁极以及绝缘结构，相邻的两个所述磁极之间具有第一间隔区，每个所述磁极等分为多个磁块，相邻的两个所述磁块之间具有第二间隔区；所述绝缘结构设于所述第一间隔区和所述第二间隔区。相邻的两个磁极之间具有第一间隔区，同一个磁极内也分为间隔分布的磁块，利用绝缘结构进行分隔绝缘，使得各个磁块之间具有良好的绝缘性，当磁控管在高速扫描的时候，由于单个磁块的体积较小，因此只会产生极小的涡旋电流，能够有效避免磁极产生高温，进而避免消磁的情况发生，可以提高靶材的利用率以及靶材上腐蚀区域的均匀性。
本实用新型一种分块式磁控管及镀膜设备在权利要求书中公布了：1.一种分块式磁控管，其特征在于，包括依次连接的磁极、第一绝缘块和导轨连接组件，所述导轨连接组件包括： 转接板，所述转接板连接于所述第一绝缘块背离所述磁极的一端； 多个垫高块，所述垫高块连接于所述转接板背离所述磁极的一端； 第一导轨安装板，所述第一导轨安装板连接于所述转接板背离所述磁极的一端； 第二导轨安装板，所述第二导轨安装板连接于多个所述垫高块的末端； 其中，所述第一导轨安装板和所述第二导轨安装板之间限定出导轨安装空间，用以供导轨安装，所述磁极与所述导轨连接组件之间通过所述第一绝缘块保持绝缘。
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