无锡影速半导体科技有限公司何基奎获国家专利权
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龙图腾网获悉无锡影速半导体科技有限公司申请的专利一种LDI自动化曝光系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223140023U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-22发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422365696.X，技术领域涉及：G03F7/20；该实用新型一种LDI自动化曝光系统是由何基奎;范俊;陈国金;吴永超设计研发完成，并于2024-09-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种LDI自动化曝光系统在说明书摘要公布了：一种LDI自动化曝光系统，包括洁净室以及设置在洁净室内的六轴机器人，通过六个自由度实现板件的精确移动，负责板件的上料、下料及在各工位间的转运；来料工位和出料工位，其用于分别临时储存进料和出料的板材；来料工位和出料工位的升降门；LDI曝光机；本实用新型结构紧凑、合理，操作方便，通过各个设备的组合，并配以洁净室洁净措施，有效提高了厚度较薄且面积较大的殷钢板的转运以及清洁的问题，降低了劳动强度并避免了板件损坏和变形，同时确保了曝光环境的洁净度和稳定性，防止了灰尘、杂质等外部因素的干扰和交叉污染的风险。
本实用新型一种LDI自动化曝光系统在权利要求书中公布了：1.一种LDI自动化曝光系统，其特征在于，包括洁净室以及设置在洁净室内的： 六轴机器人，位于洁净室中间位置，负责板件的上料、下料及在各工位间的转运； 来料工位和出料工位，其用于分别临时储存进料和出料的板材； 且所述来料工位和出料工位的侧壁上分别设置有控制板材进、出的升降门； LDI曝光机，其靠近来料工位，并用于对板件进行高精度曝光处理。
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