无锡影速半导体科技有限公司何基奎获国家专利权
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龙图腾网获悉无锡影速半导体科技有限公司申请的专利一种LDI自动化曝光系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223140022U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-22发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422357120.9，技术领域涉及：G03F7/20；该实用新型一种LDI自动化曝光系统是由何基奎;范俊;陈国金;吴永超设计研发完成，并于2024-09-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种LDI自动化曝光系统在说明书摘要公布了：本实用新型涉及一种LDI自动化曝光系统，属于超大薄板曝光技术领域。通过将LDI曝光机设置为封闭式，同时，采用侧面开口进出板，减少了曝光机在曝光过程中与外界环境的接触，保证了曝光环境的洁净度。并且，通过加装多轴机械手、地轨、来料载具、出料载具的配合工作以实现灵活的自动化搬运和侧面进料曝光，避免了人工进料，实现全自动和封闭式管理，进一步提高了曝光环境的洁净度。解决了现有技术中超大板进出料及曝光过程中洁净度及温湿度难以保证的问题。
本实用新型一种LDI自动化曝光系统在权利要求书中公布了：1.一种LDI自动化曝光系统，其特征在于，包括： LDI曝光机，所述LDI曝光机为侧面开口进出板的封闭式曝光机； 地轨，设置于LDI曝光机的侧面开口一侧；所述地轨上设置有多轴机器人，所述多轴机器人连接有叉臂吸盘组件，所述叉臂吸盘组件用以吸附板件后移动板件至LDI曝光机侧面开口内；以及 运料执行组，与所述地轨设置于LDI曝光机的同一侧；所述运料执行组包括来料工位、出料工位，所述来料工位、出料工位均位于所述叉臂吸盘组件下方。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人无锡影速半导体科技有限公司，其通讯地址为：214000 江苏省无锡市新吴区菱湖大道200号中国传感网国际创新园F3栋1-3层；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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