深圳市矩阵多元科技有限公司黎佐兴获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市矩阵多元科技有限公司申请的专利一种靶材背板绝缘结构及真空镀膜设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223134561U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-22发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422357727.7，技术领域涉及：C23C14/35；该实用新型一种靶材背板绝缘结构及真空镀膜设备是由黎佐兴;杨洪生;朱新华;张晓军设计研发完成，并于2024-09-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种靶材背板绝缘结构及真空镀膜设备在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种靶材背板绝缘结构及真空镀膜设备，涉及真空薄膜沉积技术领域，包括箱体，包括第一安装座，箱体具有内腔，内腔中设有靶材、靶背板和磁控板，靶背板的两端绝缘连接于第一安装座，靶材固定于靶背板的一侧，磁控板位于靶背板上背向靶材的另一侧，靶背板上面向磁控板的一侧设有绝缘层，绝缘层与磁控板之间具有间隙，通过设置绝缘层能够避免磁控板与靶背板之间产生高压击穿，以提高安全性和工艺的稳定性。
本实用新型一种靶材背板绝缘结构及真空镀膜设备在权利要求书中公布了：1.一种靶材背板绝缘结构，其特征在于，包括： 箱体，包括第一安装座，所述箱体具有内腔，所述内腔中设有靶材、靶背板和磁控板，所述靶背板的两端绝缘连接于所述第一安装座，所述靶材固定于所述靶背板的一侧，所述磁控板位于所述靶背板上背向所述靶材的另一侧，所述靶背板上面向所述磁控板的一侧设有绝缘层，所述绝缘层与所述磁控板之间具有间隙，所述磁控板两端与所述内腔的内壁之间的距离大于所述间隙的宽度。
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