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龙图腾网获悉上海普达特半导体设备有限公司申请的专利半导体金属刷监测设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120008914B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-22发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510482619.9，技术领域涉及：G01M13/00；该发明授权半导体金属刷监测设备是由张振;李双亮设计研发完成，并于2025-04-17向国家知识产权局提交的专利申请。

本半导体金属刷监测设备在说明书摘要公布了：本发明提供一种半导体金属刷监测设备，包括主体框架、导向轨、基板固定架、驱动组件、金属刷固定架及异型滑动组件，其中，通过驱动组件可将转动运行转变为直线运动，实现对基板固定架的推拉操作，通过导向轨及异型滑动组件的设置，可实现基板固定架的前、后、上、下运行。本发明的半导体金属刷监测设备可模拟金属刷的应用场景，以对金属刷进行有效监测。

本发明授权半导体金属刷监测设备在权利要求书中公布了：1.一种半导体金属刷监测设备，其特征在于，所述半导体金属刷监测设备包括： 主体框架； 导向轨，所述导向轨固定于所述主体框架的上表面，包括第一导向轨及第二导向轨，且所述第二导向轨的端部具有倾斜面； 基板固定架，所述基板固定架设置有贯通槽及在远离所述贯通槽的一侧设置有滑行槽，且基板通过所述基板固定架设置于所述贯通槽上方； 驱动组件，所述驱动组件包括驱动件及曲柄，所述曲柄的一端与所述驱动件连接，所述曲柄的另一端与所述滑行槽契合，通过所述驱动组件将转动运行转变为直线运动； 金属刷固定架，所述金属刷固定架固定于所述主体框架上，且金属刷通过所述金属刷固定架设置于所述贯通槽内； 异型滑动组件，所述异型滑动组件固定于所述基板固定架上，包括异型滑块及与所述异型滑块对应设置的限位件； 当所述基板固定架前进运行时，所述驱动组件提供推动力，所述基板固定架与所述第一导向轨接触并沿所述第一导向轨运行，所述金属刷与所述基板的底面接触； 当所述基板固定架后退运行时，所述驱动组件提供拉动力，所述异型滑块通过所述限位件的限制沿所述倾斜面运行至所述第二导向轨上，并将所述基板固定架架设于所述第二导向轨上运行，所述金属刷远离所述基板的底面； 通过所述导向轨及所述异型滑动组件的设置，可实现所述基板固定架的前、后、上、下运行，以模拟实际生产中所述基板的固定方向的运行模式，从而模拟所述金属刷的应用场景，对所述金属刷进行有效监测。

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