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湖南健坤精密科技有限公司王青海获国家专利权

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龙图腾网获悉湖南健坤精密科技有限公司申请的专利一种芯片MTF值的自动测试分选方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120177003B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-22发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510653451.3,技术领域涉及:G01M11/02;该发明授权一种芯片MTF值的自动测试分选方法是由王青海;胡左厚;王富浩设计研发完成,并于2025-05-21向国家知识产权局提交的专利申请。

一种芯片MTF值的自动测试分选方法在说明书摘要公布了:本发明涉及物理分析技术领域,具体涉及一种芯片MTF值的自动测试分选方法,包括:获取待测芯片在不同光源亮度下的若干次循环测试中每种光源亮度下的MTF图表,确定每张MTF图表的综合可靠性,结合同一循环测试中相邻的不同光源亮度下MTF图表中的曲线,确定每张MTF图表的光源亮度适宜因子,再结合同一种光源亮度下不同循环测试中MTF图表中的曲线,确定每种光源亮度的优良性,从而确定待测芯片的最优MTF值,用以对待测芯片进行分选。本发明通过选取待测芯片在测试过程中的最优光源亮度,保障了待测芯片分选的准确性。

本发明授权一种芯片MTF值的自动测试分选方法在权利要求书中公布了:1.一种芯片MTF值的自动测试分选方法,其特征在于,该方法包括以下步骤: 获取待测芯片在不同光源亮度下的若干次循环测试中每种光源亮度下的MTF图表;所述MTF图表中包含切向下的30线的曲线、径向下的30线的曲线、切向下的10线的曲线以及径向下的10线的曲线;所述MTF图表的横轴表示监测点距离镜头光学中心的距离,纵轴表示对比度; 根据每张MTF图表中的每条曲线上的峰值与峰谷,确定每条曲线的可靠性; 根据每张MTF图表中的每条曲线的可靠性以及相同大小的线在不同方向下曲线的差异,确定每张MTF图表的综合可靠性; 根据每张MTF图表的综合可靠性以及同一循环测试中相邻的不同光源亮度下MTF图表中的曲线,确定每张MTF图表的光源亮度适宜因子; 根据每张MTF图表的光源亮度适宜因子以及同一种光源亮度下不同循环测试中MTF图表中的曲线,确定每种光源亮度的优良性; 根据每种光源亮度的优良性,确定待测芯片的最优MTF值;根据待测芯片的最优MTF值,对待测芯片进行分选。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人湖南健坤精密科技有限公司,其通讯地址为:410119 湖南省长沙市中国(湖南)自由贸易试验区长沙片区临空区块黄花镇黄花综合保税区10号栋;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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