瑞声声学科技(深圳)有限公司吴珂获国家专利权
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龙图腾网获悉瑞声声学科技(深圳)有限公司申请的专利谐振器及其制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN111884617B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202010610985.5，技术领域涉及：H03H9/17；该发明授权谐振器及其制备方法是由吴珂;窦韶旭;韩琦;张丽蓉;庄玉召;杨帅;吕丽英;王超设计研发完成，并于2020-06-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本谐振器及其制备方法在说明书摘要公布了：本发明提供了一种谐振器结构，其包括衬底、形成于衬底之上的底电极、形成于底电极之上的压电层以及形成于压电层之上的顶电极，顶电极、压电层与底电极交叠区域为谐振区，谐振器还包括形成于谐振区中的空间，底电极远离衬底的表面为第一表面，顶电极朝向压电层的表面为第二表面，空间自第一表面向远离压电层方向延伸和或自第二表面向远离压电层方向延伸；或是，压电层包括朝向底电极的底表面和与底表面相对设置且朝向顶电极的顶表面，空间自底表面朝向顶表面方向延伸或自顶表面朝向底表面方向延伸；本发明还提供谐振器的制备方法。与相关技术相比，本发明的谐振器结构可以使器件能量损失减少，Q值提高，插入损耗降低。
本发明授权谐振器及其制备方法在权利要求书中公布了：1.一种谐振器，其特征在于，包括： 衬底； 底电极，形成于所述衬底之上，所述底电极远离所述衬底的表面为第一表面； 压电层，形成于所述底电极之上； 顶电极，形成于所述压电层之上，所述顶电极朝向所述压电层的表面为第二表面；所述顶电极、所述压电层与所述底电极交叠区域为谐振区； 空间，形成于所述谐振区中； 所述空间自所述第一表面向远离所述压电层的方向延伸和或自所述第二表面向远离所述压电层的方向延伸； 所述谐振区包括由所述空间所包围的第一谐振区、所述空间所对应的第二谐振区以及所述空间以外的第三谐振区。
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