川崎重工业株式会社清水一平获国家专利权
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龙图腾网获悉川崎重工业株式会社申请的专利托板间隔调整装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN113966549B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-18发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202080043603.3,技术领域涉及:H01L21/68;该发明授权托板间隔调整装置是由清水一平;前田佳树设计研发完成,并于2020-07-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本托板间隔调整装置在说明书摘要公布了:本发明具备:多个托板;多个基座部,供多个托板固定;引导机构,在基座部并列设置的方向上引导基座部的移动;以及连杆机构,根据与多个基座部连结的连杆部件的角度变化而平行地变更基座部的间隔,在多个基座部与连杆部件的连结部分,具备针对基座部个别地微调其并列设置方向位置的间隔微调机构。由此,提供一种能够对搬运晶片等的多个托板的间隔进行微调的托板间隔调整装置。
本发明授权托板间隔调整装置在权利要求书中公布了:1.一种托板间隔调整装置,其特征在于,具备: 多个托板; 多个基座部,供多个所述托板固定; 引导机构,在所述基座部所并列设置的方向上引导该基座部的移动;以及 连杆机构,根据与多个所述基座部连结的连杆部件的角度变化而平行地变更所述基座部的间隔, 在多个所述基座部与所述连杆部件的连结部分,具备针对所述基座部个别地微调其并列设置方向位置的间隔微调机构, 所述间隔微调机构具有:位移块,在与所述基座部所并列设置的方向交叉的方向上移动;驱动部,使所述位移块移动;滑动块,伴随着所述位移块的移动而使所述基座部与所述连杆部件的所述连结部分移动;以及固定部,使所述位移块的移动停止, 所述基座部具有限制槽,所述限制槽允许所述滑动块向该基座部所并列设置的方向的移动,并限制所述滑动块向与该方向正交的方向的移动。
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