中芯集成电路(宁波)有限公司上海分公司黄河获国家专利权
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龙图腾网获悉中芯集成电路(宁波)有限公司上海分公司申请的专利表声波谐振器及其制造方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114070256B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202010761041.8，技术领域涉及：H03H9/25；该发明授权表声波谐振器及其制造方法是由黄河;李伟;罗海龙设计研发完成，并于2020-07-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本表声波谐振器及其制造方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种表声波谐振器及其制造方法，所述表声波谐振器包括：基板及设置于基板上的压电层；叉指换能器，设置于压电层的上表面；叉指换能器的间隙之间设有第一介质层，至少部分第一介质层的下表面与压电层的上表面之间设有第一空腔。本发明通过在第一介质层临近压电层一侧开设第一空腔，使得叉指换能器的间隙之间的第一介质层悬空，以便于将沿压电层表面传播至第一介质层悬空处的声波反射回去，从而减少声波的损耗；通过叉指换能器将第一空腔分割为多个子第一空腔，以便于将叉指换能器临近于压电层表面的部分暴露于空气中，从而便于消除叉指换能器边界的杂波，进而提升谐振器的整体性能。
本发明授权表声波谐振器及其制造方法在权利要求书中公布了：1.一种表声波谐振器，其特征在于，包括： 基板及设置于所述基板上的压电层； 叉指换能器，设置于所述压电层的上表面； 所述叉指换能器的间隙之间设有第一介质层，至少部分所述第一介质层的下表面与所述压电层的上表面之间设有第一空腔，所述第一空腔使叉指换能器的间隙之间的第一介质层悬空。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人中芯集成电路(宁波)有限公司上海分公司，其通讯地址为：201210 上海市浦东新区中国（上海）自由贸易试验区蔡伦路85弄95号1幢3楼C区309；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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