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长鑫存储技术有限公司夏霜获国家专利权

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龙图腾网获悉长鑫存储技术有限公司申请的专利光罩微粒的定位方法、装置、存储介质与电子设备获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114326296B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-18发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202011052988.8,技术领域涉及:G03F1/84;该发明授权光罩微粒的定位方法、装置、存储介质与电子设备是由夏霜设计研发完成,并于2020-09-29向国家知识产权局提交的专利申请。

光罩微粒的定位方法、装置、存储介质与电子设备在说明书摘要公布了:本公开提供了一种光罩微粒的定位方法、装置、存储介质与电子设备,属于半导体技术领域。所述方法包括:通过目标光罩的路径数据确定预设时间内所述目标光罩经历的位置数据,所述位置数据包括所述目标光罩在各扫描时刻的微粒信息;根据所述位置数据确定所述目标光罩表面存在微粒时的位置信息,以得到所述目标光罩的目标位置数据;根据所述目标位置数据确定所述目标光罩在相邻扫描时刻内的光罩位置数据,并按照位置优先级在所述光罩位置数据中确定所述目标光罩表面的微粒来源位置;根据所述目标光罩的微粒来源位置生成所述目标光罩在所述预设时间内的微粒位置分析报告。本公开可以提高确定光罩上微粒来源位置的效率,减少制造成本。

本发明授权光罩微粒的定位方法、装置、存储介质与电子设备在权利要求书中公布了:1.一种光罩微粒的定位方法,其特征在于,所述方法包括: 通过目标光罩的路径数据确定预设时间内所述目标光罩经历的位置数据,所述位置数据包括所述目标光罩在各扫描时刻的微粒信息; 根据所述位置数据确定所述目标光罩表面存在微粒时的位置信息,以得到所述目标光罩的目标位置数据; 根据所述目标位置数据确定所述目标光罩在相邻扫描时刻内的光罩位置数据,并按照位置优先级在所述光罩位置数据中确定所述目标光罩表面的微粒来源位置; 根据所述目标光罩的微粒来源位置生成所述目标光罩在所述预设时间内的微粒位置分析报告; 其中,所述根据所述目标位置数据确定所述目标光罩在相邻扫描时刻内的光罩位置数据,并按照位置优先级在所述光罩位置数据中确定所述目标光罩表面的微粒来源位置,包括: 根据所述目标位置数据确定所述目标光罩在相邻扫描时刻内各时刻的位置信息,得到所述目标光罩的光罩位置数据; 在所述光罩位置数据中确定微粒来源的候选位置,以将所述候选位置中具有最高优先级的位置确定为所述微粒来源位置; 其中,所述候选位置包括stage、library和IRL,所述在所述光罩位置数据中确定微粒来源的候选位置,以将所述候选位置中具有最高优先级的位置确定为所述微粒来源位置,包括: 判断所述光罩位置数据中是否存在所述stage、所述library和所述IRL的位置信息; 在确定所述光罩位置数据中只存在所述stage、所述library和所述IRL中任意一个位置的位置信息时,将所述任意一个位置确定为所述微粒来源位置; 在确定所述光罩位置数据中存在所述stage、所述library和所述IRL中至少两个位置的位置信息时,按照所述候选位置的优先级将具有最高优先级的位置确定为所述微粒来源位置; 分别确定所述stage、所述library和所述IRL的位置向量,所述位置向量包括单位位置向量; 将所述光罩位置数据的序列数据分别与所述stage、所述library和所述IRL的位置向量相乘,得到所述光罩位置数据的微粒来源位置向量; 将所述微粒来源位置向量与各所述位置向量进行匹配,以确定所述微粒来源位置。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人长鑫存储技术有限公司,其通讯地址为:230601 安徽省合肥市经济技术开发区空港工业园兴业大道388号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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