应用材料公司A·朱普迪获国家专利权
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龙图腾网获悉应用材料公司申请的专利用于测量真空和微波环境中温度的设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114846594B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080085544.6，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权用于测量真空和微波环境中温度的设备是由A·朱普迪;S·K·科杜穆里;V·拉马钱德兰;P·阿加瓦尔;H·B·A·穆哈马德设计研发完成，并于2020-10-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于测量真空和微波环境中温度的设备在说明书摘要公布了：一种用于确定微波和或真空环境中基板温度的设备。具有多个支撑销的基板保持器包括温度传感器组件，该温度传感器组件的至少一部分表面具有磷涂层，并且该温度传感器组件经配置为从基板保持器的内部区域插入至少一个销支撑位置中，并从基板保持器的外部区域插入至少一个销支撑位置中。温度传感器组件包括温度传感器销，其具有对微波透明的弹簧。温度传感器销由导热系数大于约200WmK且具有对微波透明的低的热质量的材料制成。光学传输组件嵌入到基板保持器的至少一部分中，以接收来自温度传感器销表面的光发射。
本发明授权用于测量真空和微波环境中温度的设备在权利要求书中公布了：1.一种确定基板的温度的设备，包括： 基板保持器，所述基板保持器具有多个支撑销，所述基板保持器被配置为放置在微波或真空环境中； 温度传感器组件，所述温度传感器组件的表面的至少一部分具有磷涂层，并且所述温度传感器组件被配置为插入所述基板保持器上的至少一个销支撑位置中，其中所述温度传感器组件包括具有弹簧的温度传感器销，所述弹簧提供所述温度传感器销的向上运动并且被配置为当存在翘曲的基板时，通过向所述基板提供向上的力来增强与所述翘曲的基板的热接触；以及 光学传输组件，所述光学传输组件嵌入到所述基板保持器的至少一部分或静态平台中，并且被配置为接收来自所述温度传感器组件的所述表面的所述至少一部分的光发射，并将所述光发射中继至温度检测组件。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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