佳能株式会社盐出吉宏获国家专利权
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龙图腾网获悉佳能株式会社申请的专利成型装置及物品制造方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116056865B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-18发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202180054771.7,技术领域涉及:H01L21/027;该发明授权成型装置及物品制造方法是由盐出吉宏设计研发完成,并于2021-07-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本成型装置及物品制造方法在说明书摘要公布了:本发明提供了一种成型装置及物品制造方法。提供了一种通过使用模具来将基板上的组合物成型的成型装置,所述成型装置的特征在于包括:控制单元,所述控制单元控制使模具的第一表面与组合物接触以在所述第一表面与所述基板之间形成所述组合物的膜的处理;以及变形单元,所述变形单元向模具的、在第一表面的相对侧上的第二表面施加力,来使第一表面在基板侧上变形为凸形,其中,所述控制单元控制所述变形单元,以使得在所述处理期间,在所述第一表面与所述组合物彼此接触之后由所述变形单元施加到所述第二表面的力,大于在所述第一表面与所述组合物彼此接触之前由所述变形单元施加到所述第二表面的力。
本发明授权成型装置及物品制造方法在权利要求书中公布了:1.一种成型装置,其通过使用模具来将基板上的组合物成型,其特征在于,所述成型装置包括: 控制单元,其被构造为,控制通过使所述模具的第一表面与所述组合物接触而在所述第一表面与所述基板之间形成所述组合物的膜的处理;以及 变形单元,其被构造为,通过向所述模具的、在所述第一表面的相对侧上的第二表面施加压力,来使所述第一表面相对于基板侧变形为凸形, 其中,所述控制单元在所述处理中控制所述变形单元,以使得在所述第一表面与所述组合物之间接触之后由所述变形单元施加到所述第二表面的正压力,大于在所述第一表面与所述组合物之间接触之前由所述变形单元施加到所述第二表面的正压力。
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