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龙图腾网获悉瑞声开泰科技(武汉)有限公司申请的专利一种MEMS陀螺仪获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114623814B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210061281.6，技术领域涉及：G01C19/5621；该发明授权一种MEMS陀螺仪是由马昭;占瞻;杨珊;阚枭;严世涛;李杨;彭宏韬;黎家健;陈秋玉;洪燕设计研发完成，并于2022-01-19向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种MEMS陀螺仪在说明书摘要公布了：本发明公开了一种MEMS陀螺仪，包括衬底、第一单元和第二单元，第一单元以及第二单元沿第一方向相对设置于衬底上，第一单元与第二单元通过耦合弹簧连接，衬底上还设有驱动电极以及检测电极,其中：第一单元包括沿第二方向相对设置的第一质量块和第二质量块，第一组耦合结构通过第一组弹性梁与第一质量块和第二质量块连接；第二单元包括沿第二方向相对设置的第三质量块和第四质量块，第二组耦合结构通过第二组弹性梁与第三质量块和第四质量块连接。与现有技术相比，本发明的有益效果为MEMS陀螺仪采用对称布局，便于实现差分检测以及提高灵敏度。

本发明授权一种MEMS陀螺仪在权利要求书中公布了：1.一种MEMS陀螺仪，包括衬底、第一单元和第二单元，所述第一单元以及第二单元沿第一方向相对设置于所述衬底上，所述第一单元与所述第二单元通过耦合弹簧连接，所述衬底上还设有驱动电极以及若干检测电极,其特征在于： 所述第一单元包括沿垂直于所述第一方向的第二方向相对设置的第一质量块和第二质量块，所述MEMS陀螺仪还包括设置于所述第一质量块和所述第二质量块沿所述第二方向相对两侧的第一组耦合结构；所述第一组耦合结构通过第一组弹性梁与所述第一质量块和所述第二质量块连接； 所述第二单元包括沿所述第二方向相对设置的第三质量块和第四质量块，所述MEMS陀螺仪还包括设置于所述第三质量块和所述第四质量块沿所述第二方向相对两侧的第二组耦合结构；所述第二组耦合结构通过第二组弹性梁与所述第三质量块和所述第四质量块连接；所述第一组耦合结构与所述第二组耦合结构中沿所述第一方向相对的耦合结构均通过所述耦合弹簧连接； 所述第一组耦合结构包括设于所述第一质量块的远离所述第二质量块的一侧的第一耦合结构，设于所述第一质量块和所述第二质量块之间的第二耦合结构以及设于所述第二质量块的远离所述第一质量块的一侧的第三耦合结构；所述第一耦合结构、第二耦合结构以及第三耦合结构与所述第一质量块和或所述第二质量块通过所述第一组弹性梁连接； 所述第二组耦合结构包括设于所述第三质量块的远离所述第四质量块的一侧的第四耦合结构，设于所述第三质量块和所述第四质量块之间的第五耦合结构以及设于所述第四质量块的远离所述第三质量块的一侧的第六耦合结构；所述第四耦合结构、第五耦合结构以及第六耦合结构与所述第三质量块和或所述第四质量块通过所述第二组弹性梁连接；所述第一耦合结构与所述第四耦合结构、所述第二耦合结构与所述第五耦合结构、所述第三耦合结构与所述第六耦合结构之间均通过所述耦合弹簧连接。

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